塗布装置 - 企業ランキング(全45社)
更新日： 集計期間:2025年04月09日〜2025年05月06日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット） その他オプション多数！ マニュアル機やセミオート機のラインナップもあります！ | 半導体プロセスに欠かせない高粘度ポリイミド塗布工程（10000cPまでの高粘度に対応）に使用されております。 密閉回転式カップを使用することによりV溝付基板、凹凸のある基板または角基板などの不定形基板への均一性の高い塗布も可能です。 | ||
| 【主な仕様例】 ■スピン塗布ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) その他オプション多数！ | |||
| 2インチ～12インチ（12.7～300mm）まで装置製作は対応可能です。 ウェハに応じてFOUP（フープ）対応やキャリアの製作なども行います。 Si基板をはじめ、GaAs、GaN、LT、LN等小口径化合物基板向けにコンパクトな装置も取り扱っております。 開放・密閉兼用のカップ構造により、高粘度〜低粘度まで幅広いレジストに対応いたします。 【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組/CUP ■エッジ・バックリンス：各1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット） その他オプション多数！ | |||
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株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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- 代表製品
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厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター！自動ポリイミド塗布装置
- 概要
- 【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット） その他オプション多数！ マニュアル機やセミオート機のラインナップもあります！
- 用途/実績例
- 半導体プロセスに欠かせない高粘度ポリイミド塗布工程（10000cPまでの高粘度に対応）に使用されております。 密閉回転式カップを使用することによりV溝付基板、凹凸のある基板または角基板などの不定形基板への均一性の高い塗布も可能です。
半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater
- 概要
- 【主な仕様例】 ■スピン塗布ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) その他オプション多数！
- 用途/実績例
自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater
- 概要
- 2インチ～12インチ（12.7～300mm）まで装置製作は対応可能です。 ウェハに応じてFOUP（フープ）対応やキャリアの製作なども行います。 Si基板をはじめ、GaAs、GaN、LT、LN等小口径化合物基板向けにコンパクトな装置も取り扱っております。 開放・密閉兼用のカップ構造により、高粘度〜低粘度まで幅広いレジストに対応いたします。 【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組/CUP ■エッジ・バックリンス：各1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット） その他オプション多数！
- 用途/実績例
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株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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