洗浄ユニット - 企業ランキング(全20社)

更新日：2026年03月18日集計期間:2026年02月18日〜2026年03月17日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
株式会社プレテック　静岡製作所	所在地静岡県事業内容 ■装置事業：半導体業界、フォトマスク業界、ディスク業界及びレンズ業界に対し、　お客様の用途、製造ライン等に対応した次の各種装置の開発・設計・製造及び販売・シリコンウェハー洗浄装置　(バッチ式カセットレス洗浄装置、枚葉式スピンソニック洗浄装置) ・マスク洗浄装置・ディスク洗... 主要取引先	ラジカル洗浄ユニット＜デモ機あり＞応相談	【特長】 SPMレスなフォトレジスト除去プロセスを探している有機・金属汚染を抑えながら洗浄効率を上げたい低環境負荷の洗浄ソリューションを検討している金属膜酸化防止プロセスに適応
		洗浄ユニット『近接型メガソニック PA10-Q60AE-S』応相談	【その他の特長】 ■空振り防止機能保有する液供給が可能 ■基板への振り切り動作も可能で基板全体への再現性の高い洗浄を実現	【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄
		半導体ウェハー向け洗浄ユニット『PA10-Q60AE-S』応相談	【特長】・1.0MHzまたは3.0MHzの高周波音波を基板へ直接照射・独自の液供給システム・高純度石英製で、低発塵かつ耐薬品性に優れる・基板直上照射方式・空振り防止機能保有する液供給が可能・多様な発振モードを搭載し、基板プロセスに適応した調整が可能	【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄
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株式会社プレテック　静岡製作所

所在地

静岡県

事業内容

■装置事業：半導体業界、フォトマスク業界、ディスク業界及びレンズ業界に対し、　お客様の用途、製造ライン等に対応した次の各種装置の開発・設計・製造及び販売・シリコンウェハー洗浄装置　(バッチ式カセットレス洗浄装置、枚葉式スピンソニック洗浄装置) ・マスク洗浄装置・ディスク洗...

主要取引先

代表製品

ラジカル洗浄ユニット＜デモ機あり＞

概要

【特長】 SPMレスなフォトレジスト除去プロセスを探している有機・金属汚染を抑えながら洗浄効率を上げたい低環境負荷の洗浄ソリューションを検討している金属膜酸化防止プロセスに適応

用途/実績例

洗浄ユニット『近接型メガソニック PA10-Q60AE-S』

概要

【その他の特長】 ■空振り防止機能保有する液供給が可能 ■基板への振り切り動作も可能で基板全体への再現性の高い洗浄を実現

用途/実績例

【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄

半導体ウェハー向け洗浄ユニット『PA10-Q60AE-S』

概要

【特長】・1.0MHzまたは3.0MHzの高周波音波を基板へ直接照射・独自の液供給システム・高純度石英製で、低発塵かつ耐薬品性に優れる・基板直上照射方式・空振り防止機能保有する液供給が可能・多様な発振モードを搭載し、基板プロセスに適応した調整が可能

用途/実績例

【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄
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所在地

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事業内容

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