スピンドライヤのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
イプロスは、 製造業 BtoB における情報を集めた国内最大級の技術データベースサイトです。

スピンドライヤ - 企業ランキング(全8社)

更新日: 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ○クレドールの交換により2~3種類の、ウエハーの乾燥が可能 ○異常振動が発生した場合、自動的に停止 【仕様】 ○型式:SRD400・500・600・800・1200 ○回転速度:0~2000rpm(可変) ○処理時間:0~999.9sec(可変) ○HEPAフィルタ:0.3μ 99.97以上 ○ULPAフィルタ:0.1μ、99.9995以上 ○蓋:静電気防止プレート製 エアシリンダによる自動開閉 ○排気:φ100、オートダンパー式 ○外寸:キャリヤーにより変更 ○電源:3φAC200V 3KVA 50/60Hz
【特徴】 ○シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用 ○コンパクトな卓上型の乾燥用 ○操作は極めて簡単 →ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけ ○安全なスピンドライ仕上げを実行 【仕様】 型式:SF-300型スピナー ○ウエハーサイズ:3インチ~5インチ ○回転盤:直径300m/m PVC製 ○回転速度:乾燥回転0~2000rpm(可変) ○乾燥:Dry N2ブロー(0~2000rpm可変) ○外形寸法:450W×500D×450H PVC製 ○電源:AC 100V 4A 型式:SF-600型スピナー ○ウエハーサイズ:4インチ~8インチ(6インチで6枚処理) ○回転盤:直径600m/m PVC製 ○回転速度:乾燥回転0~1800rpm(可変) ○乾燥:N2ブロー(0~2000rpm可変) ○外形寸法:650W×650D×500H PVC製 ○電源:AC 100V 6A
〜概要〜 ・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。 ・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。 ・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。 ・特殊シールにより回転軸からのパーティクルの発生を防止しています。 ・特殊仕様/ガラス基板、セラミック基板系のスピン乾燥機も製作しています。 1.半導体業界:シリコンウエハーやマスクのスピン乾燥 2.液晶業界 :ガラスのスピン乾燥 3.基板業界 :セラミックス基板、エポキシ基板、ガラス、フイルム基板のスピン乾燥 4.ハードヂスク : 洗浄後のスピン乾燥 5.レンズ  :レンズの洗浄後のスピン乾燥
---

---

--- ---
  1. 代表製品
    スピンドライヤー SRD型スピンドライヤー SRD型
    概要
    【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ○クレドールの交換により2~3種類の、ウエハーの乾燥が可能 ○異常振動が発生した場合、自動的に停止 【仕様】 ○型式:SRD400・500・600・800・1200 ○回転速度:0~2000rpm(可変) ○処理時間:0~999.9sec(可変) ○HEPAフィルタ:0.3μ 99.97以上 ○ULPAフィルタ:0.1μ、99.9995以上 ○蓋:静電気防止プレート製 エアシリンダによる自動開閉 ○排気:φ100、オートダンパー式 ○外寸:キャリヤーにより変更 ○電源:3φAC200V 3KVA 50/60Hz
    用途/実績例
    スピンドライヤー SFシリーズスピンドライヤー SFシリーズ
    概要
    【特徴】 ○シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用 ○コンパクトな卓上型の乾燥用 ○操作は極めて簡単 →ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけ ○安全なスピンドライ仕上げを実行 【仕様】 型式:SF-300型スピナー ○ウエハーサイズ:3インチ~5インチ ○回転盤:直径300m/m PVC製 ○回転速度:乾燥回転0~2000rpm(可変) ○乾燥:Dry N2ブロー(0~2000rpm可変) ○外形寸法:450W×500D×450H PVC製 ○電源:AC 100V 4A 型式:SF-600型スピナー ○ウエハーサイズ:4インチ~8インチ(6インチで6枚処理) ○回転盤:直径600m/m PVC製 ○回転速度:乾燥回転0~1800rpm(可変) ○乾燥:N2ブロー(0~2000rpm可変) ○外形寸法:650W×650D×500H PVC製 ○電源:AC 100V 6A
    用途/実績例
    スピンドライヤー(乾燥機)スピンドライヤー(乾燥機)
    概要
    〜概要〜 ・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。 ・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。 ・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。 ・特殊シールにより回転軸からのパーティクルの発生を防止しています。 ・特殊仕様/ガラス基板、セラミック基板系のスピン乾燥機も製作しています。
    用途/実績例
    1.半導体業界:シリコンウエハーやマスクのスピン乾燥 2.液晶業界 :ガラスのスピン乾燥 3.基板業界 :セラミックス基板、エポキシ基板、ガラス、フイルム基板のスピン乾燥 4.ハードヂスク : 洗浄後のスピン乾燥 5.レンズ  :レンズの洗浄後のスピン乾燥