【デモ機貸し出し可能！】高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置
SRD型は、従来のすぐれた乾燥性、操作性に加えて高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置です。 蓋にULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上させます。 クレドールの交換により2～3種類の、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。
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基本情報
【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ○クレドールの交換により2～3種類の、ウエハーの乾燥が可能 ○異常振動が発生した場合、自動的に停止 【仕様】 ○型式：SRD400・500・600・800・1200 ○回転速度：0～2000rpm（可変） ○処理時間：0～999.9sec（可変） ○HEPAフィルタ：0.3μ 99.97以上 ○ULPAフィルタ：0.1μ、99.9995以上 ○蓋：静電気防止プレート製 エアシリンダによる自動開閉 ○排気：φ100、オートダンパー式 ○外寸：キャリヤーにより変更 ○電源：3φAC200V 3KVA 50/60Hz ●詳しくはお問い合わせ下さい。
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ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。