【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内のクリーン化を計っています
SPD型は、2又は4キャリーヤーを同時乾燥するもので、上部にクリーンフィルターを設け、本体内を常にクリーンな風を通し、チャンバー内のクリーン化を計っています。 クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。
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基本情報
【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ○クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が可能 ○異常振動が発生した場合、自動的に停止 ○特殊シール及びバキュームにより回転軸からのパーティクルの発生を防止 ○常に定位置に停止 【仕様】 ○型式：SPD400・500・600・800・1200 ○4キャリアタイプ：（2キャリアタイプも可） 但し8インチ及び12インチは2キャリアタイプ ○回転速度： →水切0～1200rpm（可変） →通常400～600rpm（可変） →乾燥0～1200rpm（可変） →通常700～1000rpm（可変） ○処理時間： →水切0～999.9sec（可変） →乾燥0～999.9sec（可変） ○ULPAフィルタ：0.1um、補修率99.9995%以上 ○蓋：エアシリンダによる自動開閉 ○排気：オートダンパー付き、本体後部１ヶ所 ○軸シール剤：特殊シール ○電源：3φAC200V 6KVA 50/60Hz ●詳しくはお問い合わせ下さい。
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企業情報
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
