【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン乾燥に最適！
〜概要〜 ・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。 ・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。 ・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。
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基本情報
〜概要〜 ・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。 ・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。 ・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。 ・特殊シールにより回転軸からのパーティクルの発生を防止しています。 ・特殊仕様/ガラス基板、セラミック基板系のスピン乾燥機も製作しています。
価格情報
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納期
用途／実績例
１．半導体業界：シリコンウエハーやマスクのスピン乾燥 ２．液晶業界 ：ガラスのスピン乾燥 ３．基板業界 ：セラミックス基板、エポキシ基板、ガラス、フイルム基板のスピン乾燥 ４．ハードヂスク ： 洗浄後のスピン乾燥 ５．レンズ ：レンズの洗浄後のスピン乾燥
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企業情報
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
