【製品情報】メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』
ITWジャパン株式会社
『PTI(圧力変動耐性)を搭載したMFC』
超高速応答と高い清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代のPTI(圧力変動耐性)を搭載したメタルシール仕様のマスフローコントローラです。入口圧力の変動によるプロセスガス流量への影響を大幅に削減します。GF125に標準で搭載されているMultiFlo テクノロジーは、流量計本体をガスラインから切り離したり、精度を低下させることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせを可能にします。
この特長は、 歩留まりと生産性の最大化に貢献する業界最高水準のPTI性能とともに、プロセスラインに設置する圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェアを見直すことで、ガスパネルのサイズとコストの削減に貢献します。
用途
■半導体エッチングツール
■MOCVD
■高清浄オールメタル流路が必要なガス流量制御アプリケーション
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