パワーデバイス故障箇所・Slice&View 三次元再構築

FIB-SEMのSlice&View機能を用いた、故障箇所の三次元再構築について
ご紹介いたします。
構造物の連続SEM画像を取得し、得られた像を三次元構築ソフト(Avizo)で、
SEM画像間のパターンの位置ズレを補正し立体的に可視化。
故障箇所に対して断面出しをする位置特定技術とSlice&View機能を
組み合わせることで不良状態を保持して異常部前後の情報を含めた
連続SEM画像を取得することができます。

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