「MEMS Engineer Forum 2025」 - 技術展示のお知らせ

MEMS加工の精度と効率を向上！高精度エッチング・成膜技術をご紹介いたします。　※4月16日 ～ 4月17日開催

プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社は、東京・両国　国際ファッションセンタービル（KFC Hall)にて開催される 「MEMS Engineer Forum 2025」の技術展示コーナーに出展致します。 ＜展示内容＞ 1.高密度ラジカルによる低温・低ダメージエッチング・クリーニング装置 　特許取得済みのHDRF技術（High density radical flux）により、MEMSの歩留低下原因を除去。 ２.これからの高周波デバイスや高速光変調導波路加工に不可欠な加工技術（イオン・ビーム・エッチング） 　 　多層構造物の加工に適したイオン・ビーム・エッチング。ウエハステージのチルト機構により、側壁角度の調整が可能。　 ３.化合物半導体のバッチ処理に適したプラズマ・エッチング、成膜装置 　「シャトル」（ウエハキャリア）に複数枚のウエハを搭載し、バッチ処理が出来ます。少量産に適した装置。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 ※装置のカタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。

• エッチング装置

他社の同様の技術に比べ50～100倍ものラジカルを生成し、ダメージのないプロセスを提供！

高密度ラジカルクリーニングプロセスは、繊細なデバイスや複雑な構造を 損傷することなく、フォトレジストやポリマーなどの残留物を、 完全に除去することが可能です。 さらに、医療用インプラント応用など精細な構造物に対しても リモートプラズマを用いた独自のプラズマソースにより、ウェットプロセスでは 完全な除去が不可能であった残留物の除去が可能。 また、高密度ラジカルフラックスによる複雑な形状の高温のみならず、 低温でのプロセッシングができます。 【特長】 ■広い温度範囲での柔軟な処理が可能 ■選択比及び均一性の高いプロセス ■複雑な形状のサンプルを完全にクリーニングする性能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

• その他受託サービス

不活性ガスArエッチングと反応性ガスによるエンハンスドRIBEが可能！

『QuaZar』は、大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 強誘電体PZTなどの難削材のエッチングプロセスにおいてプラズマエッチング では実現困難な垂直エッチング性が実現可能なエッチングプロセッシングです。 独自のIon Source、Marathon Grids、Dual PBN(オプション)の採用により、 従来品と比較しMTBMを3倍に(他社の既存装置にも搭載可能)。 また、REDEP Breaker, AUXILIARY Electrodeにより、RFシャント・ アノード消失を防止します。 【特長】 ■PZTエッチング応用では、EPDなしで貴金属電極層でエッチストップが可能 　(サイドウォールにおける析出なしで、かつスムーズな表面) ■PZTエッチングにおけるフォトレジストに対する選択性は、不活性IBEの 　0.6：1から、RIBE：1.1：1に向上 ■PZTエッチング速度は、不活性IBEの約20nm/minから、RIBEでは 　約30nm/minに向上 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

• その他

【セミナー概要】 業務効率化や社内DXの活用方法として、注目度が高まっている「生成AI」。しかし使用する社員のリテラシーに左右され、かえって業務の負担が大きくなってしまう可能性もあります。 そこで、今回のセミナーでは、生成AIの現状の課題をお伝えしつつ、生成AIを活用した業務効率化の 事例に加え、どのように生成AIを利用すると効率化が実現できるか、使い手に左右されない利用方法について解説します。ぜひ、生成AIの活用の検討に参考にしてみてください。

PFAS は、撥水性や撥油性、界面活性、耐薬品性など、優れた化学特性を有しているため、幅広い分野で使用されています。一方で、PFAS は難分解性かつ生体蓄積性の化合物であるため、国内外を問わず、水質や環境、食品中からの検出事例が数多く報告されています。そのため、各国で規制やモニタリングの動きが進められており、ブランクレベルの低減や高感度な測定法の開発が求められています。 ウォーターズは、様々なサンプルマトリックスから PFAS を微量分析するためのメソッド開発に注力しています。分析機器の提供にとどまらず、サンプル前処理やブランク汚染対策に関するノウハウの提供、さらに機器のサービス・サポートも行っています。また、分析ニーズに応じたコンサルティングサービスも提供しています。 本ウェビナーでは、注目を集める最新の規制動向、分析における課題、サンプル前処理、PFAS 分析手法に加え、トータルワークフローにおけるコンタミネーション回避のヒントや分析応用例をご紹介します。皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

HPLC を日常的に使用している現場では、 「人材が流動的で技術が定着しない」 「分析条件の検討を省力化・効率化したい」「カラムの選定に毎回時間がかかる」といった悩みが少なからず存在します。また、世の中には多くの HPLC 装置や分析カラムが存在し、結局何が自分たちにとって「一番使いやすい HPLC」なのか判断することが難しい現状です。 そこで本ウェビナーでは、HPLC の機種ごとの特長や「使いやすさ」を追求した最新の装置、分析目的に応じたカラムの選び方など、実務に直結する情報をわかりやすく解説します。 HPLC の活用レベルを一段階引き上げたい方や、これから選定・見直しを考えている方にもおすすめの内容です。日々の業務にすぐに活かせるノウハウを、ぜひこの機会にご確認ください。

このたび、ドローン搭載可能な産業用高解像度カメラを提供する「フェーズワンジャパン株式会社」と合同で「次世代インフラ点検: 高精細撮影の可能性と応用　～3Dモデル活用・業務効率化への展開～」と題したハイブリッドセミナーを開催させていただきます。 従来、ドローンでの撮影が困難だった稼働物の高精細な撮影が可能になります。 お客様が管理する施設、設備などの定期点検や接近するのが困難な構造物などの点検を可能にします。 是非、本セミナーにご参加いただき、お客様の業務のご参考にしていただけますと幸いです。 セミナーの詳細に関しては、以下のURLよりご確認ください。 https://www.jepico.co.jp/media/PhaseOne/a1061 皆様のご参加を心よりお待ちしております。

(株)コバヤシとして、インテリアライフスタイル展に出展します。 インテリアライフスタイル展とは、これからのライフスタイルマーケットを提案するインテリア・デザインのための国際見本市です。 みなさまの生活に楽しみをプラスできるような製品を展示しています。 ご来場お待ちしております。