「MEMS Engineer Forum 2025」 - 技術展示のお知らせ

MEMS加工の精度と効率を向上！高精度エッチング・成膜技術をご紹介いたします。　※4月16日 ～ 4月17日開催

プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社は、東京・両国　国際ファッションセンタービル（KFC Hall)にて開催される 「MEMS Engineer Forum 2025」の技術展示コーナーに出展致します。 ＜展示内容＞ 1.高密度ラジカルによる低温・低ダメージエッチング・クリーニング装置 　特許取得済みのHDRF技術（High density radical flux）により、MEMSの歩留低下原因を除去。 ２.これからの高周波デバイスや高速光変調導波路加工に不可欠な加工技術（イオン・ビーム・エッチング） 　 　多層構造物の加工に適したイオン・ビーム・エッチング。ウエハステージのチルト機構により、側壁角度の調整が可能。　 ３.化合物半導体のバッチ処理に適したプラズマ・エッチング、成膜装置 　「シャトル」（ウエハキャリア）に複数枚のウエハを搭載し、バッチ処理が出来ます。少量産に適した装置。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 ※装置のカタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。

• エッチング装置

他社の同様の技術に比べ50～100倍ものラジカルを生成し、ダメージのないプロセスを提供！

高密度ラジカルクリーニングプロセスは、繊細なデバイスや複雑な構造を 損傷することなく、フォトレジストやポリマーなどの残留物を、 完全に除去することが可能です。 さらに、医療用インプラント応用など精細な構造物に対しても リモートプラズマを用いた独自のプラズマソースにより、ウェットプロセスでは 完全な除去が不可能であった残留物の除去が可能。 また、高密度ラジカルフラックスによる複雑な形状の高温のみならず、 低温でのプロセッシングができます。 【特長】 ■広い温度範囲での柔軟な処理が可能 ■選択比及び均一性の高いプロセス ■複雑な形状のサンプルを完全にクリーニングする性能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

• その他受託サービス

不活性ガスArエッチングと反応性ガスによるエンハンスドRIBEが可能！

『QuaZar』は、大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 強誘電体PZTなどの難削材のエッチングプロセスにおいてプラズマエッチング では実現困難な垂直エッチング性が実現可能なエッチングプロセッシングです。 独自のIon Source、Marathon Grids、Dual PBN(オプション)の採用により、 従来品と比較しMTBMを3倍に(他社の既存装置にも搭載可能)。 また、REDEP Breaker, AUXILIARY Electrodeにより、RFシャント・ アノード消失を防止します。 【特長】 ■PZTエッチング応用では、EPDなしで貴金属電極層でエッチストップが可能 　(サイドウォールにおける析出なしで、かつスムーズな表面) ■PZTエッチングにおけるフォトレジストに対する選択性は、不活性IBEの 　0.6：1から、RIBE：1.1：1に向上 ■PZTエッチング速度は、不活性IBEの約20nm/minから、RIBEでは 　約30nm/minに向上 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

• その他

渡辺商行は、グループ会社の天谷製作所、ワコム製作所、トムコと共同で 「SEMICON Japan 2025」に出展いたします。 展示ブースでは、石英チャンバー／シリコーンゴム／表面改質処理加工／ AI外観検査装置「NulMiL」などをご紹介します。 是非、お立ち寄りください。

[講演項目] 一．ガスビジョン2050・アクションプラン2030と、カーボンニュートラルなガスのバリューチェーン構築の取組 一般社団法人 日本ガス協会 企画部 上席調査役（国際規格担当） 工月 良太 氏 二．大阪ガスによる革新的なメタネーション技術開発の取組 大阪ガス株式会社 経営企画本部 企画部 カーボンニュートラル推進室長 桑原 洋介 氏※桑は異体字 三．水素動向からみるCN化を目指す東京ガスのメタネーション 東京ガス株式会社 グリーントランスフォーメーションカンパニー エグゼクティブフェロー 矢加部 久孝 氏

[講　師] 株式会社野村総合研究所 コンサルティング事業本部 シニアプリンシパル・弁理士 林 力一 氏 [重点講義内容] 電機・機械・化学をはじめとする製造業、半導体、電池、医薬、通信、自動車、食品、鉄鋼、セメント、コンビニ、コンテンツIP等、主要産業においてグローバル競争の激化、或いは、新興企業の台頭によるコモディティ化が加速する現代、従来の排他的知財戦略だけでは持続的収益の確保が困難です。 本セミナーでは、勝者が実践する経営モデルを「IPX経営戦略モデル」として体系化。従来のClosed IP(収益獲得IP)に加え、Open IP(客寄せIP)と持続的収益性に貢献するIPを再定義しその機能明確化することで、競合を圧倒する非対称的優位性(事業破壊力)を生み出す経営変革の具体的手法を解説します。 営業利益率15%超、PBR2-3倍を実現する実践的アプローチをお伝えします。

第29回大学発シーズ マッチングセミナーを開催いたします。 京都大学発の最新技術をご紹介します。ぜひご参加ください。 【▼詳細はこちら（参加無料・オンライン）】 https://www.tlo-kyoto.co.jp/event/202511191448.html ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ◯日時：2025年12月18日（木）13:30～15:00 ◯申込締切：2025年12月12日（金） ◯形式：オンライン開催、無料 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ▼プログラム 13:30～14:00頃： 「睡眠阻害要因の在宅モニタリングに向けた筋活性区間自動検出システム」 京都大学大学院　情報学研究科 講師　江口 佳那 14:00～14:30頃： 「流動ストレスに対する抗体医薬品安定性の定量評価」 京都大学大学院　農学研究科 教授　菅瀬 謙治 14:30～15:00頃： 「Nearly Random Index (NRI)法が可能にする高スループット・低コストの網羅的トランスクリプトーム解析」 京都大学 医学研究科 ／ASHBi　教授 　村川 泰裕

「人が足りない」「新規開拓が進まない」そんな営業課題を抱える企業様向けに、 “少人数でも成果を上げる営業の仕組み化”を3つの秘伝術として解説した人気セミナーを、期間限定でアーカイブ配信いたします。 年始の忙しい時期でも、好きな時間に視聴可能。 営業効率化のヒントやすぐに実践できるノウハウをぜひお受け取りください。 【こんな方におすすめ】 ・営業担当の採用が難しく、人手不足に悩んでいる ・展示会や問い合わせ後のフォローが後回しになってしまう ・新規営業が属人的で、再現性ある仕組みを作りたい こうした課題をお持ちの企業様に特におすすめの内容です。 【このアーカイブで学べること】 ・少人数でも成果を上げる「営業の仕組み化」の作り方 ・リード獲得〜育成を効率化する3つの秘伝術 ・営業プロセスを整えるポイントと実践例 参考：https://www.earthlink.co.jp/end_seminar_event/9677/ 【視聴可能期間】 2026年1月13日（火）9:00〜1月21日（水）9:00 ※期間内はお好きなタイミングで繰り返しご視聴いただけます。