「MEMS Engineer Forum 2025」 - 技術展示のお知らせ

MEMS加工の精度と効率を向上！高精度エッチング・成膜技術をご紹介いたします。　※4月16日 ～ 4月17日開催

プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社は、東京・両国　国際ファッションセンタービル（KFC Hall)にて開催される 「MEMS Engineer Forum 2025」の技術展示コーナーに出展致します。 ＜展示内容＞ 1.高密度ラジカルによる低温・低ダメージエッチング・クリーニング装置 　特許取得済みのHDRF技術（High density radical flux）により、MEMSの歩留低下原因を除去。 ２.これからの高周波デバイスや高速光変調導波路加工に不可欠な加工技術（イオン・ビーム・エッチング） 　 　多層構造物の加工に適したイオン・ビーム・エッチング。ウエハステージのチルト機構により、側壁角度の調整が可能。　 ３.化合物半導体のバッチ処理に適したプラズマ・エッチング、成膜装置 　「シャトル」（ウエハキャリア）に複数枚のウエハを搭載し、バッチ処理が出来ます。少量産に適した装置。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 ※装置のカタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。

• エッチング装置

他社の同様の技術に比べ50～100倍ものラジカルを生成し、ダメージのないプロセスを提供！

高密度ラジカルクリーニングプロセスは、繊細なデバイスや複雑な構造を 損傷することなく、フォトレジストやポリマーなどの残留物を、 完全に除去することが可能です。 さらに、医療用インプラント応用など精細な構造物に対しても リモートプラズマを用いた独自のプラズマソースにより、ウェットプロセスでは 完全な除去が不可能であった残留物の除去が可能。 また、高密度ラジカルフラックスによる複雑な形状の高温のみならず、 低温でのプロセッシングができます。 【特長】 ■広い温度範囲での柔軟な処理が可能 ■選択比及び均一性の高いプロセス ■複雑な形状のサンプルを完全にクリーニングする性能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

• その他受託サービス

不活性ガスArエッチングと反応性ガスによるエンハンスドRIBEが可能！

『QuaZar』は、大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 強誘電体PZTなどの難削材のエッチングプロセスにおいてプラズマエッチング では実現困難な垂直エッチング性が実現可能なエッチングプロセッシングです。 独自のIon Source、Marathon Grids、Dual PBN(オプション)の採用により、 従来品と比較しMTBMを3倍に(他社の既存装置にも搭載可能)。 また、REDEP Breaker, AUXILIARY Electrodeにより、RFシャント・ アノード消失を防止します。 【特長】 ■PZTエッチング応用では、EPDなしで貴金属電極層でエッチストップが可能 　(サイドウォールにおける析出なしで、かつスムーズな表面) ■PZTエッチングにおけるフォトレジストに対する選択性は、不活性IBEの 　0.6：1から、RIBE：1.1：1に向上 ■PZTエッチング速度は、不活性IBEの約20nm/minから、RIBEでは 　約30nm/minに向上 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

• その他

光学・電子関連に使われる資材・機器の総合商社である株式会社マブチ・エスアンドティー様のブースにて、 弊社製品を展示いただきます！ 【開催概要】 ■会期：2025年4月23日（水）～25日（金）10：00～17：00 ■会場：パシフィコ横浜　展示ホール・アネックスホール 　　　（神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1） ■入場料：無料（完全事前登録制） ■小間番号：I-32 【展示製品（ピュアオン製品）】 ・パッドの貼り剝がしを容易にする「PAD-EASE-PRO」 ・高純度酸化セリウムスラリー「ULTRA-SOL OPTIQPRO」 ・リキッドダイヤモンドGAF その他マブチ様ブースにて、光学の様々な課題解決につながる下記展示をご覧いただけます。 ・研削・研磨ソリューション ・精密測定ソリューション ・クリーン環境ソリューション ・スゴ技ソリューション 株式会社マブチ・エスアンドティー様OPIE特設サイト https://solution.mabuchist.co.jp/event/opie25/ 皆様のご来場を心よりお待ちしております。

AI・IoT・電動⾞・⾃動運転・医療分野などの新規分野において、レーザの活⽤領域が拡⼤する中、加⼯だけではなく、加⼯結果のモニタリングを並⾏して実証できる場が求められています。 本ウェビナーでは、そのイベント時の例も含め、LACでどのようなソリューションがご覧いただけるかを紹介します。 ■ウェビナー内容 ・以下を含めたレーザ加工ソリューションのご紹介 トルンプ株式会社︓⼤出⼒2kWナノ秒レーザ/ アルミ溶接用加工ヘッド / 画像補正システム プレシテック・ジャパン株式会社︓レーザ溶接モニタリングシステム/ 非接触センサ PRIMES Japan株式会社︓パワーメーター/ ビームプロファイラー 株式会社ナックイメージテクノロジー︓ハイスピードカメラ ⽇時︓ 2025年5月19⽇（⽉）〜21日（水） (1)10:00〜10:30(2)13:00〜13:30(3)15:00〜15:30 ※3日にわたり、1日3回放送します。いずれも同じ内容です。 ■お申し込み方法 下記リンクよりお申込みください。 https://x.gd/x7rso

【超音波金属溶着‐ワイヤーハーネスとバッテリ―生産における最も安全で革新的な技術】 車載用ハーネスおよびバッテリー製造技術において、優れた接合技術として注目されている超音波金属溶着技術。シュンク・ソノシステムズはこの分野のリーディングカンパニーとして、最先端の超音波溶着機を提供しています。 展示会では3種の実機を準備しております。ぜひ、展示会場でデモンストレーションをご覧ください。 〔展示機種〕 ◆ MinicーIII Splicing System：ほぼすべてのワイヤーハーネスをニーズに対応する多用途で高速な超音波溶着機。細いワイヤーから約30㎟までのケーブル結束に対応。 ◆ BW20：バッテリー製造のための最もモジュール化された装置。150層以上の箔を確実に溶着可能。 ◆ LS-C端子溶着機：EVバッテリーモジュールおよび高電圧システム用に特化した電線と端子への溶着機。200 mm²までの導体を処理し、端子と銅またはアルミニウム太線の間に極めて低い抵抗の接合を形成。ユーザーフレンドリーで、自動化された生産ラインに容易に統合が可能。

空調・衛生・電気のオールラウンドブランド「タイカエックス/タイカX」シリーズの新製品や、選定・施工・メンテナンスが簡単なエアハン用ドレントラップ「ADB」など、多数製品を展示いたします。 【名称】ジャンボびっくり見本市 【ブースNo】608（東京・大阪共通） 【大阪日時】2025年4月25日（金）10:00～17:00、4月26日（土）9:00～16:00 【大阪会場】インテックス大阪6号館C・Dゾーン ご来場の方は、事前登録（無料）が必要となります。 ◎出展製品 ■タイカエックス/タイカX 耐火床貫通ベルト「IRYB」 ステンレス鋼管のリニューアルに最適！ ■タイカエックス/タイカX スリーブワン 耐火貫通スリーブRT「IRKS-RT」 鋼製スリーブにすべてが集約したスリーブ一体型製品 ■中・大型空調機用ドレントラップ エアハン用ドレントラップ「ADB」 吸込型と押込型の2タイプ。選定・施工・メンテナンスが簡単

[講　師] 名古屋大学 未来社会創造機構 客員教授 野辺 継男 氏 [重点講義内容] トランプ大統領第二期就任後4か月を経た時点で、これまでの常識に反するトランプ関税がもたらした各国自動車市場と自動車産業への影響を明らかにし、今後の国際的方向性と日本の方策を議論します。特に、自動車産業の国際的な発展を停滞させている状況を明らかにし、それらに対する世界主要各国の反応や対応と自動車産業への影響を分析します。 同時に自動車産業では大きな技術的革命が起こっており、トランプ政権の「非環境正義」政策に対して、今後の自動車におけるエネルギー選択（内燃機関かＥＶか）やSDV（ソフトウエア定義車）化と半導体・ソフトウエアの導入、更に生成ＡＩの活用に対する各国各社の動向を探り、2〜5年後の自動車産業の在り様を予測します。 [講演項目] １．トランプ大統領就任後4か月、これまで言ってきた事と現在の結果、今後の予測 ２．トランプ関税の非常識な構造 ３．既に現れている今後の各地域市場・産業への影響 ４．自動車の技術選択への影響 ５．まとめ ６．質疑応答／名刺交換