「MEMS Engineer Forum 2025」 - 技術展示のお知らせ

MEMS加工の精度と効率を向上！高精度エッチング・成膜技術をご紹介いたします。　※4月16日 ～ 4月17日開催

プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社は、東京・両国　国際ファッションセンタービル（KFC Hall)にて開催される 「MEMS Engineer Forum 2025」の技術展示コーナーに出展致します。 ＜展示内容＞ 1.高密度ラジカルによる低温・低ダメージエッチング・クリーニング装置 　特許取得済みのHDRF技術（High density radical flux）により、MEMSの歩留低下原因を除去。 ２.これからの高周波デバイスや高速光変調導波路加工に不可欠な加工技術（イオン・ビーム・エッチング） 　 　多層構造物の加工に適したイオン・ビーム・エッチング。ウエハステージのチルト機構により、側壁角度の調整が可能。　 ３.化合物半導体のバッチ処理に適したプラズマ・エッチング、成膜装置 　「シャトル」（ウエハキャリア）に複数枚のウエハを搭載し、バッチ処理が出来ます。少量産に適した装置。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 ※装置のカタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。

• エッチング装置

他社の同様の技術に比べ50～100倍ものラジカルを生成し、ダメージのないプロセスを提供！

高密度ラジカルクリーニングプロセスは、繊細なデバイスや複雑な構造を 損傷することなく、フォトレジストやポリマーなどの残留物を、 完全に除去することが可能です。 さらに、医療用インプラント応用など精細な構造物に対しても リモートプラズマを用いた独自のプラズマソースにより、ウェットプロセスでは 完全な除去が不可能であった残留物の除去が可能。 また、高密度ラジカルフラックスによる複雑な形状の高温のみならず、 低温でのプロセッシングができます。 【特長】 ■広い温度範囲での柔軟な処理が可能 ■選択比及び均一性の高いプロセス ■複雑な形状のサンプルを完全にクリーニングする性能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

• その他受託サービス

不活性ガスArエッチングと反応性ガスによるエンハンスドRIBEが可能！

『QuaZar』は、大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 強誘電体PZTなどの難削材のエッチングプロセスにおいてプラズマエッチング では実現困難な垂直エッチング性が実現可能なエッチングプロセッシングです。 独自のIon Source、Marathon Grids、Dual PBN(オプション)の採用により、 従来品と比較しMTBMを3倍に(他社の既存装置にも搭載可能)。 また、REDEP Breaker, AUXILIARY Electrodeにより、RFシャント・ アノード消失を防止します。 【特長】 ■PZTエッチング応用では、EPDなしで貴金属電極層でエッチストップが可能 　(サイドウォールにおける析出なしで、かつスムーズな表面) ■PZTエッチングにおけるフォトレジストに対する選択性は、不活性IBEの 　0.6：1から、RIBE：1.1：1に向上 ■PZTエッチング速度は、不活性IBEの約20nm/minから、RIBEでは 　約30nm/minに向上 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

• その他

実際の倉庫・物流オペレーションをそのまま再現した導線設計で、ご来場者はLab館内を歩くだけで、倉庫・物流プロセス全体を“実機の動作”とともに体感できます。 入庫から保管、仕分け、搬送、出庫までを自動化するロボット および自律走行清掃ロボット、自律走行 配送・配達ロボットのデモンストレーションスペース、『Fusion Stride Space (フュージョン・ストライド・スペース)』では、随時 10種類を超える倉庫・物流自動化のオペレーションロボットが稼働しています。 ■ Fusion Stride Space 常設ロボット • AGV / AMR 自動搬送/自律移動ロボット • CHS ケースハンドリングストッカー • ACR 自律ケースハンドリングロボット • i-BOX インテリジェントボックス • APR 自律パレットハンドリングロボット • AGF 自動誘導フォークリフト • リニアコンベヤシステム • RoboSweep 自律清掃ロボット • Tars 自律走行デリバリーロボット

2026年5月14日（木）～5月16日（土）に石川県産業展示館で開催される「MEX金沢2026 機械工業見本市金沢」に出展いたします。 当社ブースでは、サーボプレス・塗布ロボット・自動ねじ供給機を展示し、各種ソリューションをご紹介いたします。 設備の自動化をご検討中の方は、ぜひこの機会にお立ち寄りください。

ディーリンクジャパン株式会社 (本社：東京都品川区 代表取締役会長兼社長：張 家瑞 (チョウ カズイ)、以下：D-Link) は、2026年5月27日～29日の3日間、東京ビッグサイト (東京都江東区) にて、株式会社リックテレコム主催による展示会「ワイヤレスジャパン×ワイヤレス・テクノロジー・パーク 2026」に出展いたします。 D-Linkブースでは、ネットワーク集中管理サービスの「Nuclias」と、Wi-Fi 7/Wi-Fi 6Eをはじめとするアクセスポイント製品を展示し、ネットワーク運用管理による業務効率化、コスト削減などをご紹介いたします。 また、オフィス・店舗から組み込み機器、工場設備、車載システムまで幅広い用途に対応する「4G/5G M2M製品」と、M2Mクラウド管理プラットフォーム「D-ECS」も展示いたします。 ■展示ブース 西4ホール　小間番号：W-7 D-Linkブースにて皆様のお越しをお待ちしております。

株式会社徳永製作所は、幕張メッセで開催される 「インターフェックスWeek東京/再生医療EXPO東京」に出展いたします。 本展は、世界25の国と地域から医薬品・化粧品・再生医療の研究・製造に関する 様々な製品・サービスが出展する展示会として、日本最大の規模で開催。 世界中から医薬品・化粧品メーカー、再生医療企業が来場します。 【当日は実演展示いたします】 ・新開発の新型ボトル供給機　「BFR-X シリーズ」 ・パウチピッキングロボット　　　「TPRシリーズ」 ・ボトルバラ取りピックロボット 皆様のご来場お待ちしております。

[講　師] 株式会社Tech-T 代表取締役 （元トヨタ自動車／Samsung SDI） 博士（工学） 高原 忠良 氏 [講演項目] １．自動車販売状況 ２．激変する中国　-現地取材から- ３．劇的に変化したトヨタの中国戦略 ４．Woven Cityとe-Paletteにみるトヨタの戦略　-現地および乗車取材から- ５．近健太新体制、株主総会から ６．まとめ ７．質疑応答