ホームページにて真空設備用グリースの製品情報を公開しました

歩留まりに貢献、真空環境下の潤滑に特化！半導体製造装置内のコンタミを低減！

『LOGENEST LAMBDA TKM-03』は、 半導体製造装置などの高真空と耐熱性を有する環境下でも低アウトガスに寄与する特殊グリースです。 高真空（high vacuum）10-1Pa～10-5Pa～超高真空（ultra high vacuum）10-5Pa～10-8Pa向けのグリースとして開発いたしました。 【特長】 ■歩留まりに貢献、真空環境下の潤滑に特化したグリース ■アウトガスが発生しにくい高真空・耐熱用グリースで半導体製造装置内の 　コンタミを低減 ■TML(質量損失比)1.0％未満を大幅に下回る(ASTM E595準拠) ■CVCM(再凝縮物質量比) 0.1％以下を大幅に下回る(ASTM E595準拠) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 潤滑油

極高真空下（10-8Pa以下 ）にてアウトガスが発生しにくいグリースです。

【特徴】 • あらゆるグリースの中で、最高レベルの長寿命性を有します • 低発塵グリースとしても活用可能です • 市販グリースで、最高の蒸気圧特性を持つフッ素グリースです • 酸化安定性、耐薬品性、電気絶縁性にも優れています • RoHS指令に対応製品

• 真空機器
• その他半導体製造装置

PFS-PRO 透明無機耐熱塗料 SUS溶接後の酸洗いやー、バフ仕上げ工程を削減 　コストダウン、短納期・環境問題改善を提案 溶接部に事前に塗布を行う事により、溶接焼けを軽減できる 　商品です。 容量2g 約　1m2～2m2 塗布可能

日之出水道機器(株)「メカニカルスティッチ工法」は、熱を加えずに金属クラック補修が可能な新工法です。 特殊ボルトと補強プレートを使用しクラックを物理的に除去し、母材に熱影響を一切与えずに補修致します。 火気が使用できない環境でも補修できます。熱を加えないことから設備の分解が最小限に抑えられます。 ◎詳しくはお問合せください。 ◎詳細技術説明が必要な場合はお問合せください。

日之出水道機器(株)「メカニカルスティッチ工法」は、熱を加えずに金属クラック補修が可能な新工法です。 特殊ボルトと補強プレートを使用しクラックを物理的に除去し、母材に熱影響を一切与えずに補修致します。 火気が使用できない環境でも補修できます。熱を加えないことから設備の分解が最小限に抑えられます。 ◎詳しくはお問合せください。 ◎詳細技術説明が必要な場合はお問合せください。

日之出水道機器(株)「メカニカルスティッチ工法」は、熱を加えずに金属クラック補修が可能な新工法です。 特殊ボルトと補強プレートを使用しクラックを物理的に除去し、母材に熱影響を一切与えずに補修致します。 火気が使用できない環境でも補修できます。熱を加えないことから設備の分解が最小限に抑えられます。 ◎詳しくはお問合せください。 ◎詳細技術説明が必要な場合はお問合せください。

日之出水道機器(株)「メカニカルスティッチ工法」は、熱を加えずに金属クラック補修が可能な新工法です。 特殊ボルトと補強プレートを使用しクラックを物理的に除去し、母材に熱影響を一切与えずに補修致します。 火気が使用できない環境でも補修できます。熱を加えないことから設備の分解が最小限に抑えられます。 ◎詳しくはお問合せください。 ◎詳細技術説明が必要な場合はお問合せください。