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【コンタミ低減】アウトガスが発生しにくい高真空・耐熱用グリース

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最終更新日:2025年07月09日

株式会社ニッペコ 本社
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歩留まりに貢献、真空環境下の潤滑に特化!半導体製造装置内のコンタミを低減!

『LOGENEST LAMBDA TKM-03』は、 半導体製造装置などの高真空と耐熱性を有する環境下でも低アウトガスに寄与する特殊グリースです。 高真空(high vacuum)10-1Pa~10-5Pa~超高真空(ultra high vacuum)10-5Pa~10-8Pa向けのグリースとして開発いたしました。 【特長】 ■歩留まりに貢献、真空環境下の潤滑に特化したグリース ■アウトガスが発生しにくい高真空・耐熱用グリースで半導体製造装置内の  コンタミを低減 ■TML(質量損失比)1.0%未満を大幅に下回る(ASTM E595準拠) ■CVCM(再凝縮物質量比) 0.1%以下を大幅に下回る(ASTM E595準拠) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    潤滑油
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【コンタミ低減】アウトガスが発生しにくい高真空・耐熱用グリース

メルマガ用製品画像_歩留まり改善ver++.jpg
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【その他の特長】 ■摩擦・摩耗の低減による部材の長寿命化 ■幅広い温度領域で使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高真空・耐熱グリース LOGENEST LAMBDA TKM-03

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極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

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前工程の歩留まり改善が期待できる真空・耐熱用 グリース

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この製品に関するニュース(2)

TECHNO-FRONTIER 2025に出展致します

  • 企業ニュース

平素より大変お世話になっております 弊社では7月23日(水)~7月25日(金)に、東京ビッグサイトで開催予定の [TECHNO×FRONTIER2025]に出展いたします。 見どころ https://www.jma-exhibition.com/joint/webguide_jp_tf/company.php?no=304 ============================= 展示会概要 ============================= <<TECHNO×FRONTIER2025]>> 会期:2025年7月23日(水)~7月25日(金)10:00~17:00 会場:東京ビッグサイト(西1ホール 小間番号:1-M34 ) <[TECHNO×FRONTIER2025] 来場登録> https://www.jma-exhibition.com/joint/jp_tf/registration.php?exhibitor=EX000304 ―◆― 皆様のご来場、心よりお待ち申し上げます―◆―

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半導体製造装置向け「LOGENEST LAMBDA(ロゲネストラムダ)」シリーズの製品紹介ページとなります。 ご覧いただけますと幸いです。

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自動車、電機精密機械、鉄鋼、産業機械、建設機械など、国内外の幅広い業界に潤滑グリースを供給し、きめ細かなこだわりを持って研究開発する総合グリースメーカーとしての誇りを持っています。 90年以上にわたり受け継がれてきた創業の精神こそが、当社の強固な経営基盤と継続的な利益創出の原動力となっています。 この揺るぎない経営と、長年に渡って培ってきた潤滑・製造技術を活かし、世界トップクラスの企業に高性能グリースを供給しています。 そして何より、潤滑グリースを通じて世界中の人々の生活を豊かにすることへの貢献が、私たちの原動力です。 この信念は、私たちが追求する技術が人々の生活の質と快適さを高める上で重要な役割を果たしていると考えています。 当社は今後も、世の中に必要とされる最高品質の潤滑グリースを提供し、人々の生活の向上に貢献してまいります。

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