受託テスト成膜サービス（高品位反応膜などの試験成膜）のご案内

新たな素材探索や成膜プロセスの構築をサポートいたします

HiTUSテクノロジー これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体ターゲットや、金属ターゲットとセラミックターゲットなどの異物質Co-スパッタ研究。 次世代のMEM用途として注目されるAlScN成膜など、先端材料研究やプロセス構築研究を強力にサポートいたします。

• その他金属材料

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加で高品位かつフレキシブルな成膜をする装置です

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜プロセスの構築など、幅広い研究に対応できる装置です。 これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体ターゲットや、金属ターゲットとセラミックターゲットなどの異物質Co-スパッタ研究など、先端材料研究やプロセス構築研究を強力にサポートする装置です。 直進性の高い成膜 　→イオンビームスパッタの特徴である直進性の高い成膜 多連装ターゲット機構 　→幅広い多層膜成膜 複数ターゲットへの同時プラズマ供給とスパッタ制御 　→精密に制御したCo-スパッタ成膜 基盤へのバイアス印加制御によるコンフォーマル成膜 　→ディープトレンチ、回り込みなどの悪条件下でもコンフォーマルな成膜

• スパッタリング装置

リモートソース型イオンビームスパッタ装置　リモートプラズマソースの開発メーカー

PlasmaQuest社 ヘリコン型 高密度イオンソースの開発販売、及び 応用製品の開発販売で25年の歴史を持つ優良企業です。 グリッドレスで高密度なプラズマを発生させるヘリコンプラズマソースは、多くの装置メーカーにOEM供給を続けていおります。 その高品位なプラズマソースをイオン源として、ターゲットにバイアス印加を行う画期的な手法「HiTUS」システムにより、様々な条件やターゲットを用いてのスパッタを実現しています。 従来のマグネトロンスパッタ装置では困難とされる高磁性ターゲットや高誘電ターゲットのスパッタ、金属とセラミックなどの異種ターゲットを同時に用いるCo-スパッタなど、多用途での運用を可能としています。 研究用途から生産規模の装置まで柔軟に対応できる多性を整えています。

• スパッタリング装置

超微粒子超硬合金、住友A1（HRA91.4）の丸棒端面に φ2、90°のテーパ穴をあけました。 今回はユニオンツールのダイヤコート工具を使用。 電着工具の仕上がりと比較すると面がかなり綺麗に仕上がっています。 ◇使用材：超硬合金　住友材A1（HRA91.4　Co量13％） ◇工具：ユニオンツール　UDCB2006-0042　2枚刃ボール　R0.3ｘ0.42 ◇機械：碌々スマートテクノロジー　Ａｎｄｒｏｉｄ２ ◇条件：回転数30,000、送り速度200

日之出水道機器(株)「メカニカルスティッチ工法」は、熱を加えずに金属クラック補修が可能な新工法です。 特殊ボルトと補強プレートを使用しクラックを物理的に除去し、母材に熱影響を一切与えずに補修致します。 火気が使用できない環境でも補修できます。熱を加えないことから設備の分解が最小限に抑えられます。 ◎詳しくはお問合せください。 ◎詳細技術説明が必要な場合はお問合せください。

全体の印象が明るくなり住民から高評価！インターロッキング約800m2を5日間かけて洗浄した事例 某タワーマンションの理事長様より、管理会社を通して引き合い、タワー マンション外周部分に敷設されたインターロッキング(透水性舗装)に堆積 土砂があり、竣工後8年程度ですが、全体的に黒くなって薄暗く見えると 住民から不評で困っていました。 当社は、『HOTJEBLOふじやまR2』を提案。外構部分のインターロッキング 約800m2を5日間かけて洗浄および目地砂の補填を実施しました。 結果、ブロックの色が黒から白になった事で、全体の印象が明るくなり 住民から高評価を頂きました。 【事例概要】 ■導入機器：HOTJEBLOふじやまR2 ■問題 ・マンション外周部分に敷設されたインターロッキングに堆積土砂 ・全体的に黒くなってしまい、薄暗く見えると住民から不評 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

セラミックスピン加工事例の資料を公開しました。【精密微細加工 最小径φ0.03】【丸だけじゃない三角、四角、だ円形状のピン加工】【セラミックスの多様な加工実績】についてご紹介しております。 加工実績材質：アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ホトベール、ステアタイト等

先月ドイツのミュンヘンで開催されたbaumaで初めて披露されたMBクラッシャーの新製品、デモリッションクラッシャー。 MB-PシリーズとMB-PTシリーズの2シリーズで全5型式を展開。 圧砕・解体作業をより簡単に、より速く、より安全にできるよう、細部に至るまで現場目線で考え、作られています。 【MB-Pシリーズ：シングルシリンダ】 MB-P160：1.5t〜3tのミニ油圧ショベル対応 MB-P380：3t〜6.5tのミニ油圧ショベル対応 【MB-PTシリーズ：ダブルシリンダ】 MB-PT650：6.5t〜13tの油圧ショベル対応 MB-PT1150：12t〜19tの油圧ショベル対応 MB-PT1650：19t〜25tの油圧ショベル対応 【特長】 ■ 上部傾斜型により、作業範囲が広く、優れた操作性 ■ 360°油圧旋回式のため、アタッチメントの位置決めが楽 ■ シリンダロッド保護構造で、耐久性と強度を保証 ■ 反転・交換で4面使用可能ブレードにより、長寿命化を実現 詳しくはお気軽にお問い合わせください。