【新製品情報】超純水中ホウ素をリアルタイム監視!「Sievers Boron Ultra」オンラインUPWホウ素計を発売

セントラル科学株式会社は、超純水(UPW)中のホウ素をpptレベルでリアルタイムに監視可能な新製品「Sievers Boron Ultra オンラインUPWホウ素計」を発売しました。
本製品は、半導体製造におけるシリカ汚染の早期検出と、イオン交換樹脂の最適な管理を目的として開発され、ICP-MSに匹敵する高感度(0.010~100 ppb B)を実現。3分ごとの高速測定により、従来の分析手法よりも迅速なプロセス制御が可能です。
【主な特長】
・pptレベルの超高感度検出(0.010~100 ppb B)
・ICP-MSに匹敵する精度で、シリカよりも早期にホウ素を検出
・3分または6分の高速測定サイクル
・10.1インチのカラータッチスクリーンで直感的な操作性
・IP45等級の防塵・防水性能を新たに取得
・1流路/2流路モデルを選択可能
・RoHS、CE、UKCA認証取得済み
【用途・導入メリット】
半導体・電子産業におけるUPWシステムの品質管理
イオン交換樹脂の再生・交換時期の最適化
シリカ汚染の早期検出による製品歩留まりの向上
ランニングコストの削減と設備寿命の延長


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