小型スパッタリング装置を新製品に追加しました
株式会社富士アールアンドディー
実験用の小型スパッタリング装置です。
メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。
スパッタリングを行う成膜室と、成膜後に取り出す部屋をゲートバルブで仕切っています。基盤をセット後、真空中で自動搬送します。
ターゲットは3種まで取付可能です。基板は自動回転機構で、設定した順にターゲットの下に移動し、成膜します。
このニュースへのお問い合わせ
Webからお問い合わせこのニュースの詳細・お申し込み
詳細・お申し込み
関連リンク
真空中で基板を自動搬送します。
ターゲットは3種類取付可能です。
コンパクトな設計でリーズナブル
使い勝手の良さを追求しました。