分析講座「半導体材料の電気特性評価」
高性能な半導体デバイスを作製するために、デバイス作製に用いるそれぞれの材料の電気特性および物性を理解し、制御する必要がある。
本講座は2部構成とし、前半は半導体デバイスの基礎的な電気特性である容量-電圧(C-V)特性や電流-電圧(I-V)特性の評価に水銀プローブを適用した事例を紹介し、各種物理分析と組み合わせて半導体デバイスの電気特性に影響を及ぼす膜質との関係を示す。
後半では半導体デバイスの特性に影響を及ぼす欠陥を電気的に検出する手法であるDeep Level Transient Spectroscopy (DLTS)について、半導体や絶縁膜/半導体界面の欠陥を評価した事例を踏まえてその有用性を紹介する。

| 開催日時 | 2026年10月07日(水) 13:30 ~ 16:30 |
|---|---|
| 参加費 | 有料 44,000円(税込、テキスト費用を含む) |
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