【基礎知識】CMP用語集 「疎水性」(hydrophobicity)

★疎水性(hydrophobicity)
水分子と親和性が小さい性質のこと。
固体表面においては、水でぬれにくい性質をいう。水でぬれにくい、または有機溶媒でぬれやすい固体表面は疎水面または親油面と呼ばれ、空気中での水の接触角で25°以上として区別される。水分子を排除し、水となじみにくい原子団のことを疎水基(親油基)という。シリコンウェーハでは、フッ酸で自然酸化膜を除去した表面など、水素で終端されている表面において疎水性を示す。
オーム社刊 精密工学会編 【半導体CMP用語辞典】から引用

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