【基礎知識】CMP用語集 「研磨レート」(Removal Rate)

★研磨レート(Removal Rate)
単位時間当たりのポリシング量を指し、加工機械、ポリシング剤の種類、砥粒サイズ、ポリシング条件などにより著しく異なる。
したがって、ポリシングレートを比較するには加工条件を明示するとともに、加工済みの工作物の精度、表面粗さ、そのほかの加工結果の明示も必要である。一般に、ポリシングレートはプレストンの式にしたがうことが知られており、ポリシングにおける研磨パッドと加工物の相対速度、圧力に比例すると考えられる。しかし、それ以外のスラリー種類、研磨パッド種類、研磨装置などによる条件も研磨レートの大小に大きな影響を与える。なお、研磨レートの代わりに、加工レート、MMR(Material Removal Rate)と呼ばれることもある。
オーム社刊 精密工学会編 【半導体CMP用語辞典】から引用

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