【基礎知識】CMP用語集 「スクラッチ」(Scratch)

★スクラッチ(Scratch)
グローバル平坦化CMPにおいて、研磨加工終了後に層間絶縁膜表面上、または金属膜表面上に残る引っ掻き傷をいう。
スクラッチには目視観察できるものから、光学顕微鏡、ウェーハ表面ゴミ検査測定器、またはAFMやSEMでないと観察できないマイクロスクラッチまであり、その形状も線上痕、打痕などいろいろな形状が報告されている。スクラッチの原因としては、スラリーの凝集、ダイヤモンドドレッサーのダイヤモンド砥粒の脱落、研磨パッドのカスなどが挙げられる。また、金属膜表面のスクラッチ計測は非常に難しく、特に、コロージョン、パーティクルとの区別に注意が必要となる。
オーム社刊 精密工学会編 【半導体CMP用語辞典】から引用

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