200mm 300mm にて対応可能!【CMP用テストウエハ】MIT STI CMP wafer

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、
テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの
研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。
画像はHDP、SiN on Si の例です。
200mm 300mm にて対応可能です。
※MITマスク使用
対応膜種はご希望によりご相談ください。

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次世代半導体開発に必要な各種テストウェハを販売しております。
特に先端のCMP・洗浄・エッチング・TSVの研究開発用の評価用ウェハや
微細パターンウェハを提供しています。各種膜質・厚みの変更も承ります。