半導体製造装置用チラー
エムエス機器株式会社
半導体製造プロセスで使用される多くの装置には、発生する熱を除去し、
一定温度を保つための冷却装置(チラー)が必要とされます。
ThermoFisherScientific社の『半導体製造用チラー』は、高い生産性と
長期にわたる信頼性、操作ミスを誘発しない簡易な操作性が提供出来るよう
デザインされており、各社装置メーカー仕様に設計されたOEMモデルです。
詳しくは、下記の関連製品ページをご覧ください。
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