半導体製造装置向けに設計されたチラーです。
半導体製造プロセスで使用される多くの装置には発生する熱を除去、 一定温度を保つために冷却装置（チラー）が必要とされます。 ThermoFisherScientific社半導体製造用チラーは ・高い生産性 ・長期にわたる信頼性 ・操作ミスを誘発しない簡易な操作性 が提供出来るようデザインされており、各社装置メーカー仕様に 設計されたOEMモデルです。
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基本情報
MX500 最大19.3 kWの冷却能力で、0.5℃の温度安定性を持つ 水冷式循環冷却装置です。半導体製造工場のクリーン ルーム内で要求されるSEMI規格に準拠するためのEMO(緊急停止 ボタン)やLOTO(電源の遮断固定、警告表示）などのオプション を標準装備しています。 NESLAB３（SYSTEM３） 冷凍機冷却システムを使用せず、循環水で吸収した熱を水道水や 工場水で冷却する、水と水による熱交換方式の循環冷却装置です。 最大50 kWの冷却能力で±1.0℃の温度安定性を提供します。
価格帯
納期
用途／実績例
・プラズマエッチャー ・アッシャー ・CVD ・PVD ・イオン注入 ・CMP ・テスター ・高速熱処理
この製品に関するニュース（1）
企業情報
エムエス機器は、世界トップシェアのチラーメーカー米国NESLAB社 （現Thermo Fisher Scientific社）の日本総代理店として、約50年に亘り培った チラービジネスの経験と、述べ20,000台を越えるチラーの納入実績を持つ技術の専門商社です。2014年より、米国Solid State Cooling Systems社の ペルチェ方式チラーの取り扱いを開始し、環境問題やエネルギー問題に敏感なお客様のニーズを踏まえた商品をご提供しております。 ISO 14001:2004：JQA-EM4217、ISO 9001:2000：JQA-QMA12892
