【製品のお知らせ】モニターSiウェハー(パーティクル管理品)

当社では、各サイズのパーティクル管理品を取り揃えており、スペック等ご要望に
応じてご提供させて頂きます。
「モニタ用ウェハー」は、プロセスチェックやパーティクルチェックに使用。
日常のプロセスの結果を定期的にモニターし、問題があれば条件(レシピ)に
フィードバックをかけ、装置内のパーティクルチェックを定期的に
行う場合にも使います。
「テスト用ウェハー」は、先行で流すウェハーなどのテスト用。
フルプロセスを流さず、問題になっている工程のみを流すケースもあります。
関連製品・関連カタログより詳しくご覧いただけます。


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