各サイズのパーティクル管理品を取り揃えております。 スペック等ご要望に応じてご提供させて頂きます。
【モニタ用ウェハー】 プロセスチェックやパーティクルチェックに使用します。日常のプロセスの結果を定期的にモニターし、問題があれば条件（レシピ）にフィードバックをかけます。また、装置内のパーティクルチェックを定期的に行う場合に行う場合にも使います。 【テスト用ウェハー】 先行で流すウェハーなどのテスト用。フルプロセスを流さず、問題になっている工程のみを流すケースもあります。 モニター用、テスト用でご使用するパーティクル管理品を各種取り扱っております。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
カタログもしくはホームページの製品案内をご参照下さい。
価格情報
数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
納期
※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
・モニターウエハー ・テストウエハー 前工程メーカー様向け、その他
カタログ（10）
カタログをまとめてダウンロード
この製品に関するニュース（2）
企業情報
トリニティーは半導体向けシリコンウエハーをメイン商材としてご案内しております。 シリコンウェハーはサイズ2"～12"まで取り扱っており、弊社の工場では日々入荷されるシリコンウエハーを選別、検査、測定し、安定した品質を短納期でご提供できるように、豊富な在庫でお客様のご要望にお応えしております。ダミーグレードからモニターグレード（パーティクル管理品）、薄厚ウェハー、パターン付ウェハーなどもご案内しております。また弊社では成膜加工も承っております。熱酸化膜、スパッタリング、蒸着、CVDといった膜付ウェハーを扱っており、少量試作から量産まで、お客様の御要望に応じた受託成膜加工を承ります。シリコンウエハー以外にSiCウェハーも各グレードでご案内しております。高品質なSiCウェハーをリーズナブルな価格でご提供させて頂きます。SiCウェハーの加工についてダイシング、厚み指定、接合等の加工も承ります。