常温吸着式精製装置
精製装置のパイオニア・日本パイオニクスの世界最高のガス精製技術と長年培った 多彩な技術で開発した“VPシリーズガス精製装置”は、究極の純度と、 環境・安全に配慮した製品創りを追求し、「安心」と「信頼」を提供します。 【特長】 ・当社が開発した独自の触媒によりガスの高純度精製が可能です。 ・精製系列の切換は、原料ガスの流量および不純物濃度に適応した最適な 系列切換時間を設定できます。 ・精製ガスの流量積算値による系列切換もできますので、低流量で使用した場合は 系列切換時間が延びるため、省エネとなります。 ・省設置スペースを実現しました。 ・メンテナンススペースは装置正面と背面を基本とし、装置側面は密着設置ができます。 （但し、耐震金具用のスペースは必要です。） ・各規格に対応（SEMI、ASME、ML等） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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「クリーン」「セーフティ」「ヘルシー」を 企業活動の理念にかかげ、パイオニア精神を持って、ますます技術力を強化し、新しい分野への開発を進め、社会への貢献を目指してまいります。