CF4、C2F6、C5F8等のPFCを始め、SF6およびHFCの完全分解が可能です。
本装置は、CF4、C2F6、C5F8等のPFCを始め、SF6およびHFCの完全分解が可能です。 また、ヒーター加熱方式によりプロパン等の燃焼燃料を必要とせず、 CO2の排出量を最小限に抑えることができます。 【特長】 ・付帯設備を必要としないため、省スペース、低ランニングコストを実現しました。 ・火炎、燃料が不要ですので、高い安全性があります。 ・分解温度が比較的低温のためサーマルNOxの発生がありません。 ・触媒成分がフッ素化合物の吸収固定も行うためウェットスクラバー等の後 処理装置が不要です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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