小型、軽量、低振動を達成したモータ直結の油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VS シリーズは、1 段式ベーン型（回転翼型）の採用により構造の単純化と高速化をはかり、小型、軽量、低振動を達成したモータ直結の油回転真空ポンプです。振動を大幅に低減したことで、工場建屋の基礎工事などのポンプ設置にともなう負担を軽減することができます。また、油循環系統と冷却系統の強化により、高吸入圧での排気性能が安定していますので、繰り返し排気の多いプロセスなどをはじめとして幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○低振動・低騒音 ○軽量・コンパクト ○優れたメンテナンス性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○低振動 →ベーン型構造により高速化（50Hz:1500rpm）を達成 →振動伝達の大きい低周波領域の振動を大幅に低減 →大規模な基礎工事が不要になり、工場建屋内の2階、3階への設置が容易 ○軽量・コンパクト →PKS-030ポンプに比べ、VS2401 は質量で約35（40）％減、所要 床スペースで約20（30）％減、全高では約50％減と軽量・コンパクト （ ）内はVS1501 ○低騒音を実現 →到達圧力時の運転音を低減する機構を採用することにより、 74dB（A特性）と低騒音化を達成 （到達圧力時、オイルミストトラップ有、ポンプ側方1mでの測定値） ○優れたメンテナンス性 →日常点検がしやすいように油確認、油補充、油交換の方向を統一 →油の補充期間を延長するために8 ～ 10.5Lの可変油量式を採用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング ○真空包装、真空吸着・搬送、真空成形、真空鋳造 ○真空含浸、真空鋳造 ○真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉 ○真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気 ○ガス置換、充てん、真空断熱 ○リークテスト装置、その他 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。