基板AO SX5000/3000series
SX5000/3000シリーズは、当社が今まで培ってきた世界検査シェア5割を誇る液晶ドライバテープ用AOIでのパターン検査技術を発展させた新世代基板AOIです。
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基本情報
【特長】 ○業界で最もファインパターン検査が可能 ○濃淡画像によるサブピクセル測長処理により超高分解能を実現 ○配線パターン全面に渡り線幅・線間隔を計測 ○高スループット ○検査中の欠陥切出し画像を出力 ○独自の照明技術によりさまざまな表面状態に柔軟に対応 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧下さい。
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