ウエハー搬送・FPDパネル搬送のイノベーションサプライヤー
従来のKUMADE CUPタイプは、半導体の超極薄ウェーハ（厚み50μm以下）を安全かつ確実に搬送するよう最適に設計されておりました。今回、新開発しましたKUMADE CUPタイプは太陽電池／FPD基板搬送向けとして旋回流の持つポテンシャルを最大限に引き出した商品です。消費流量わずか15L/minで結晶Si系太陽電池セルの高速搬送を実現します。
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基本情報
【特徴】 ○高速搬送にも追従します ○今後、薄化が進む結晶Si系太陽電池セルに最適 ○従来品に対し200％↑性能UP ○薄膜Si系、化合物系の重厚長大なガラス基板に対応 ○CO2排出量が最大で約90％削減！環境目標にご利用下さい ●詳しくはお問い合わせください。
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企業情報
極薄ウェーハ搬送機器のト-タルソリューションを提供。非接触ウェーハ搬送による不良率低減・タクトタイムの向上に寄与。 TSV(Through Silicon Vias)ウェーハ、MEMSウェーハ等の穴あきウェーハ搬送を可能にする。TAIKOウェーハ、DBGウェーハ等の新プロセスウェーハ搬送に対応、 パワーデバイス等の薄く、裏面処理の必要なウェーハ搬送(Wf表面アクセス)。
