±1nm再現性と50mm開口で、マスク／ウェハ位置決めや透過光観察を安定化
高信頼性のPICMAピエゾセラミック駆動、静電容量センサによるダイレクト計測を行うXYZ軸ナノポジショニングステージです。 XY軸動作量は、30ｘ30µｍと100 × 100 µmタイプで、Z軸は10 µmストロークになります。 開口 50 × 50 mmを持つため透過光アプリケーションにも最適。 高精度顕微鏡、マスク/ウェーハの位置決め、計測技術などに使われます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
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基本情報
・ストローク：XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に～10μm ・静電容量センサーにより分解能～0.1nmを実現 ・直動式の高速バージョン ・真空対応および非磁性バージョン ・パラレル制御によるダイナミクスの向上／多軸の精密制御 ・パラレル計測によるアクティブ軌道制御 ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・透過光アプリケーションに適した50 x 50mmのセンター開口部 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
価格情報
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用途／実績例
応用例 ・画像処理／安定化 ・走査型顕微鏡 ・表面形状解析 ・バイオテクノロジー ・半導体試験 ・マスク／ウェハー位置決め ・マイクロマニピュレーション ・高平坦度／直進度のナノポジショニング
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
