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気体加熱用特殊ヒーター「クリーンホットヒーター」

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最終更新日:2011年03月02日

株式会社インテリンク
株式会社インテリンク
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特殊な内部構造により断熱材不要!高効率、高速昇温!クリーン加熱 (特許取得品)

気体加熱ヒータークリーンホットは、外部への放熱を最小限に押さえ、 ヒーターハウジング外面の低温化を実現したことにより公害の原因となる断熱材が不要となりました。 同時に、熱効率が良くなった結果、気体加熱時間が短縮され短時間昇温を実現しました。さらに、ヒーターハウジング内の特殊構造により、ガスの流速を大きくとることができるので、ヒーター電力の密度を高く設定することが可能となり、大容量のシーズヒーターを組み込むことができます。

    その他半導体製造装置
intelink_03.JPG

気体加熱用特殊ヒーター「クリーンホットヒーター」

intelink_03.JPG
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【特徴】 ◯断熱材不要 ◯高効率、高速昇温、クリーン加熱 ◯コンパクト・特殊構造(特許 第3700689号) ◯対応機種に温度範囲:50℃~500℃(但し、使用条件による) 【用途】 ◯ディスク洗浄後の乾燥 ◯LCD基板洗浄後の乾燥 ◯アニール炉内温度の均温化 ◯各種クリーン乾燥 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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