ウエット洗浄装置
高純度フッ素樹脂コーティングは、金属イオン溶出によるデバイスの汚染を防ぎます。
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基本情報
【特徴】 ○表面の汚染物質の付着が少なくなる ○パーティクルが発生しにくい ○Siウェハのエッジのダメージが減少する ○薬液透過による外部汚染を防止 ○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能 ○熱伝導の効率が向上 ○薬液透過による外部汚染を防止 ○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能 ○熱伝導の効率が向上 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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企業情報
弊社は、業界（フッ素樹脂関係）でいち早くＩＳＯ９００１及び１４００１を取得した国際規格に合致した企業です。また、技術先行企業で常に新製品を開発しております。