イプロス ものづくり
  • 分類カテゴリから製品を探す

    • 電子部品・モジュール
      電子部品・モジュール
      55886件
    • 機械部品
      機械部品
      70464件
    • 製造・加工機械
      製造・加工機械
      95470件
    • 科学・理化学機器
      科学・理化学機器
      32881件
    • 素材・材料
      素材・材料
      34706件
    • 測定・分析
      測定・分析
      52695件
    • 画像処理
      画像処理
      14501件
    • 制御・電機機器
      制御・電機機器
      50324件
    • 工具・消耗品・備品
      工具・消耗品・備品
      62881件
    • 設計・生産支援
      設計・生産支援
      11691件
    • IT・ネットワーク
      IT・ネットワーク
      40966件
    • オフィス
      オフィス
      13036件
    • 業務支援サービス
      業務支援サービス
      39762件
    • セミナー・スキルアップ
      セミナー・スキルアップ
      5809件
    • 医薬・食品関連
      医薬・食品関連
      22450件
    • その他
      59159件
  • 業種から企業を探す

    • 製造・加工受託
      7359
    • その他
      5062
    • 産業用機械
      4442
    • 機械要素・部品
      3287
    • その他製造
      2875
    • IT・情報通信
      2522
    • 商社・卸売り
      2458
    • 産業用電気機器
      2328
    • 建材・資材・什器
      1822
    • ソフトウェア
      1650
    • 電子部品・半導体
      1572
    • 樹脂・プラスチック
      1493
    • サービス業
      1398
    • 試験・分析・測定
      1131
    • 鉄/非鉄金属
      979
    • 環境
      702
    • 化学
      632
    • 自動車・輸送機器
      557
    • 印刷業
      505
    • 情報通信業
      429
    • 民生用電気機器
      424
    • エネルギー
      321
    • ゴム製品
      309
    • 食品機械
      304
    • 光学機器
      284
    • ロボット
      269
    • 繊維
      251
    • 紙・パルプ
      233
    • 電気・ガス・水道業
      172
    • 医薬品・バイオ
      165
    • 倉庫・運輸関連業
      144
    • ガラス・土石製品
      142
    • 飲食料品
      132
    • CAD/CAM
      121
    • 教育・研究機関
      108
    • 小売
      104
    • 医療機器
      99
    • セラミックス
      94
    • 木材
      87
    • 運輸業
      83
    • 医療・福祉
      61
    • 石油・石炭製品
      60
    • 造船・重機
      53
    • 航空・宇宙
      47
    • 水産・農林業
      39
    • 自営業
      23
    • 設備
      18
    • 鉱業
      17
    • 公益・特殊・独立行政法人
      15
    • 研究・開発用機器・装置
      14
    • 金融・証券・保険業
      13
    • 素材・材料
      13
    • 官公庁
      11
    • 個人
      9
    • 飲食店・宿泊業
      8
    • 警察・消防・自衛隊
      7
    • 化粧品
      7
    • 受託研究
      3
    • 試薬・薬品原料
      2
    • 実験器具・消耗品
      1
  • 特集
  • ランキング

    • 製品総合ランキング
    • 企業総合ランキング
製品を探す
  • 分類カテゴリから製品を探す

  • 電子部品・モジュール
  • 機械部品
  • 製造・加工機械
  • 科学・理化学機器
  • 素材・材料
  • 測定・分析
  • 画像処理
  • 制御・電機機器
  • 工具・消耗品・備品
  • 設計・生産支援
  • IT・ネットワーク
  • オフィス
  • 業務支援サービス
  • セミナー・スキルアップ
  • 医薬・食品関連
  • その他
企業を探す
  • 業種から企業を探す

  • 製造・加工受託
  • その他
  • 産業用機械
  • 機械要素・部品
  • その他製造
  • IT・情報通信
  • 商社・卸売り
  • 産業用電気機器
  • 建材・資材・什器
  • ソフトウェア
  • 電子部品・半導体
  • 樹脂・プラスチック
  • サービス業
  • 試験・分析・測定
  • 鉄/非鉄金属
  • 環境
  • 化学
  • 自動車・輸送機器
  • 印刷業
  • 情報通信業
  • 民生用電気機器
  • エネルギー
  • ゴム製品
  • 食品機械
  • 光学機器
  • ロボット
  • 繊維
  • 紙・パルプ
  • 電気・ガス・水道業
  • 医薬品・バイオ
  • 倉庫・運輸関連業
  • ガラス・土石製品
  • 飲食料品
  • CAD/CAM
  • 教育・研究機関
  • 小売
  • 医療機器
  • セラミックス
  • 木材
  • 運輸業
  • 医療・福祉
  • 石油・石炭製品
  • 造船・重機
  • 航空・宇宙
  • 水産・農林業
  • 自営業
  • 設備
  • 鉱業
  • 公益・特殊・独立行政法人
  • 研究・開発用機器・装置
  • 金融・証券・保険業
  • 素材・材料
  • 官公庁
  • 個人
  • 飲食店・宿泊業
  • 警察・消防・自衛隊
  • 化粧品
  • 受託研究
  • 試薬・薬品原料
  • 実験器具・消耗品
特集
ランキング
  • 製品総合ランキング
  • 企業総合ランキング
  • プライバシーポリシー
  • 利用規約
  • 会社情報
  • 採用情報
  • 広告掲載
  1. ホーム
  2. 製品を探す
  3. 科学・理化学機器
  4. 理化学機器
  5. その他理化学機器
  6. マニュアル塗布装置/現像装置 Litho Spin Cup

マニュアル塗布装置/現像装置 Litho Spin Cup

  • ブックマークに追加いたしました

    ブックマーク一覧

    ブックマークを削除いたしました

    ブックマーク一覧

    これ以上ブックマークできません

    会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

    無料会員登録

Litho Spin Cup series

最終更新日:2022年08月31日

リソテックジャパン株式会社
リソテックジャパン株式会社
  • 公式サイト

研究開発用途から生産まで幅広いニーズに応える マニュアルスピンコータ、マニュアルスピンデベロッパ

リソスピンカップシリーズは、マニュアルでありながら自動塗布/現像装置と同等のスピンユニットを採用しているため、オートディスペンサ、各種リンス、廃液自動回収、カップ排気等に標準で対応しています。簡単かつ安全に高精度なレジスト処理が行えます。 また、プライマディスペンサ、薬液温調、ファンフィルタユニット、温度/湿度コントローラなど様々なオプションをご用意しており、高度な塗布処理/現像処理が行えます。 リソテックジャパンでは、基本的にお客様が使用される塗布薬液(レジスト、ポリイミド、絶縁膜等)やウェーハサイズおよび用途に合わせて設計・製造を行い、洗練された装置のご提供を行っております。

    その他理化学機器
LSC-800C-2021.png

マニュアル塗布装置/現像装置 Litho Spin Cup

LSC-800C-2021.png
LSC-800C-2021.png
  • 関連リンク - https://www.ltj.co.jp/coaterdeveloper.php?eid=0000…

この製品へのお問い合わせ

  • Webからお問い合わせ

基本情報

<スピンコータ > ■Litho Spin Cup 800C  ・0.5インチウェーハから8インチウェーハまで対応  ・オートディスペンサ、エッジリンス/バックリンス標準搭載 ■Litho Spin Cup 1200C  ・最大で300mmウェーハまで対応  ・化学増幅型レジスト対応仕様 <スピンデベロッパ > ■Litho Spin Cup 800D ・最大8インチウェーハまで対応 ・オートディスペンサ、現像リンス/バックリンス標準搭載 ■Litho Spin Cup 1200D ・最大で300mmウェーハまで対応 ・有機現像仕様にも対応可

価格情報

お問い合わせください

価格帯

1000万円 ~ 5000万円

納期

詳細はお問い合わせください

※お問い合わせください

用途/実績例

半導体フォトリソグラフィ工程における、レジスト塗布や現像に多く採用されています。

ラインアップ(4)

型番 概要
Litho Spin Cup 800C 8インチウェーハ対応スピン塗布装置
Litho Spin Cup 1200C 300mmウェーハ対応スピン塗布装置
Litho Spin Cup 800D 8インチウェーハ対応スピン現像装置
Litho Spin Cup 1200D 300mmウェーハ対応スピン現像装置

企業情報

リソテックジャパン株式会社

リソテックジャパン株式会社

電子部品・半導体

ブックマークに追加いたしました

ブックマーク一覧

ブックマークを削除いたしました

ブックマーク一覧

これ以上ブックマークできません

会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

無料会員登録
  • 公式サイト
電話番号・住所

リソテックジャパンは、創設以来リソグラフィのスペシャリストとして、レジスト露光/現像解析装置、レジストコータ/デベロッパ、リソグラフィシミュレータに加え、最先端リソグラフィプロセス向けに露光/現像材料評価等もご提供しております。 特にレジスト処理装置では、スピンコータ、デベロッパ、ベーク(PEB)装置、膜厚測定等を様々な分野に適応させて、開発用実験装置から生産用全自動システムまでご要望に応じた最適な仕様をご提案しています。 例えば、極薄シリコンウェーハ / 各種化合物半導体 / 石英 / サファイヤ / 圧電基板(SAW)等の各種基板に対しての、ArFレジスト / EBレジスト / 高粘度厚膜レジスト / ポリイミド / 絶縁膜 / ワックス等の塗布装置やアルカリ / 無機/有機等の現像装置をラインナップしています。 その他に、HMDS処理 / 真空減圧ベーク / UV照射 / 高温ベーク処理等各種プロセスユニットを用意しています。

製品・サービス一覧 (15)

その他理化学機器の関連カテゴリ

  • 科学・理化学機器
  • 理化学機器
  • その他理化学機器

この製品へのお問い合わせ

  • Webからお問い合わせ

製品

  • 製品を探す

企業

  • 企業を探す

特集

  • 特集

ランキング

  • 製品総合ランキング
  • 企業総合ランキング

サポート

  • サイトマップ
IPROS
  • プライバシーポリシー 情報の外部送信について
  • 利用規約
  • 会社情報
  • 採用情報
  • 広告掲載
COPYRIGHT © 2001-2025 IPROS CORPORATION ALL RIGHTS RESERVED.