t=50μｍのPI（ポリイミド）に入口径Φ17μｍ、出口径Φ6μm、ピッチ25μｍの穴加工を千鳥格子状に多穴加工しました。
t=50μｍのPI（ポリイミド）に入口径Φ17μｍ、出口径Φ6μm、ピッチ25μｍの穴加工を千鳥格子状に多穴加工しました。
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基本情報
エキシマレーザーでのPI（ポリイミド）の加工プロセスは、材料の持つ分子間結合力よりも大きなエネルギーを瞬間的に照射することで、その部位の分子間結合を断ち、ガス化または極微細粒化させるものです。 それにより熱影響の少ない高品質な加工を行うことができます。 またエキシマレーザー光は、比較的大きくフラットなビームプロファイルのレーザー光を得られることから、マスクを光路に入れそのマスクの形を加工点で転写する結像光学系を用いることが出来ます。 他のレーザーのように集光したレーザー光で加工する方法に比べ、任意形状の微細な加工や同時に多くの穴を加工することが可能です。 ・樹脂から金属薄膜に至るまで多種な材料に加工が可能 ・紫外領域の波長（248nm）で材料のエネルギー吸収率アップと高ピークエネルギーを有する為、他のレーザーより熱影響の少ない高精度な微細加工が可能 ・加工部の深さの制御ができ、ミクロンレベルでの溝加工などが可能。 ・レーザー光と光学系の同期による一括大面積加工が可能
価格情報
加工仕様・数量により価格が変動しますのでお気軽にお問合せください。
納期
※加工仕様・数量により納期が変動しますので、お気軽にお問合せください。
用途／実績例
電子部品・半導体関連
企業情報
株式会社リプス・ワークスでは、超短パルスレーザを用いたマイクロ微細加工の受託、並びにレーザシステムの設計・製造を行っております。 受託加工事業においては、産業用超短パルスレーザの開発にいち早く取り組み、超短パルスレーザを用いたマイクロ微細加工の受託事業に従事して参りました。特に、トライボロジー特性や光学特性、離型・密着性制御を目的としたワーク表面への微細周期構造（マイクロテクスチャ）付与を得意としております。少量試作から量産まで、お客様のご希望に合わせ対応いたします。 システムエンジニアリング事業においては、ジョブショップで培ったレーザ加工技術を活かし、アプリケーションに適したレーザ発振器の選択から光学系の設計、保持具や補機類の考案、そしてシステム化まで一貫して承り、お客様の要求される加工の精度UP、加工効率UPを図るお手伝いをさせて頂きます。 最先端のレーザ加工技術をお客様に提供するレーザのエキスパートとしてお客様の力になれるよう努めて参りますので、ぜひお気軽にお問い合わせ下さい。
