中空陰極内部よりアルゴンガスを放出、不活性ガスをイオン化・放電を形成
中空陰極内部より放電用作動ガスであるアルゴンガスを放出し、この不活性ガスであるアルゴンガスをイオン化し、放電を形成します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特長】 ○ハース上下動及びロッドフィード方式による成膜エリアの拡大 →均一性向上を実現 ○両扉オープン及び治具下置設計による作業性向上 ○ビーム収束コイルによる高エネルギー密度プラズマビームの発生 【NTH－1000装置仕様】 ○真空槽(mm)：φ1000×800H ○有効エリア：φ200×400×8式 ○基板ホルダー：自公転式（下置型） ○作動ガス：Ar・N2・C2H2 ○蒸発イオン源：HCDガン ○到達圧力：５×10-６Torr以下 ○排気速度：5×10-5Torrまで30分以内 ○基板加熱機構：電子衝撃加熱（オプション・シースヒーター） ○装置運転：自動運転 ○粗引方式：ロータリーポンプ ○本引方式：ターボ分子ポンプ ○所要電力：3φ 200V 150ｋVA ○設置所要面積：5500W×5000D×2500H ○冷却水：3kgf/cm2 50L／min ○圧縮空気：5~6kgf/cm2 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
私共は平成元年に「プラズマ」と「真空」の技術に夢を追いかけナノテック株式会社を設立致しました。現在これらの技術を用いて、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）を始めとしたコーティング技術の開発を行っております。DLCコーティング技術の多くはドリル、金型、機械部品などへ応用され、産業の「縁の下の力持ち」的な技術とも言えます。日本が「技術立国」として成り立っているのは、このような表面には出ない素晴らしいテクノロジーが存在し、高性能、高品質の製品が生み出されるからと考えます。ナノテックがお客様のニーズに長期間に渡り応えていくためには社内制度の充実がカギであり、ここで働く人たちの発想や行動こそが活気溢れる企業風土を作り、お客様への信頼のある対応につながると考えます。この環境を作り上げる事をなによりも大切なものとして現在取り組んでいます。
