表面硬化膜形成用 少量生産機・実験機に最適
SIA-400Tは、工具・刃物・金型等への「表面硬化膜」及び、「装飾膜」に最適なホロカソードタイプを、さらにバージョンアップしたアーク放電タイプ（蒸発源表面上にアーク放電を発生させ、溶解・蒸着・イオン化という過程を経て膜形成）を採用した装置です。 【特徴】 ○ムダを極力少なくし、処理量の確保をはかった ○1バッチごとの蒸発源の補給が不要 ○基板取付けを容易にした担当者にやさしい装置 ○本装置で成膜したTiNの密着強度70N以上 ○蒸発源をかえればほとんどの金属の成膜が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特 長】 1．切削工具等への表面硬化膜（TiN、TiAlN膜）の成膜が可能です。 2．据付面積（操作盤・ポンプユニット・電源含） W3,000mm×D2,500mm内の省スペースです。 3．タッチパネル操作による成膜レシピ制御が可能です。 4．少量生産機・実験機として最適です。 5．高融点金属（タングステンやモリブデン）の蒸発も可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途・応用例】 切削工具 自動車・機械部品 各種金型 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。
