ホットカソードには無い極めて低い温度、低い真空度で動作！
オメガトロンのイオン銃技術とノウハウを結集し、シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃を完成させました。 放電電極に高価なレアメタルをおごっているにもかかわらず、最適設計により部品点数を削減したため、品質をより向上させつつ販売価格を１２３万円（税抜き）とすることができました。 また、オプションのユニットをお選び頂ければ、従来のような高機能・高性能タイプにリーズナブルにステップアップすることも可能です。 中性ビーム銃に搭載の同軸型ニュートラライザーをオプションでお選び頂ければセラミックなどの絶縁体の精密ミーリングに威力を発揮します。 非常にシンプルな構造のため信頼性、メンテナンス性に優れ、お客様の手間も最小限です。
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基本情報
イオン化方式 コールドカソード式 イオンエネルギー 1kｅＶ～5kｅＶ イオンカレント 3μA～38μA/Ar+/WD=150ｍｍ ビーム径 φ15ｍｍ 動作真空度 5.0ｘ10-4Pa～2.0ｘ10-3Pa （弊社チャンバーにて）
価格情報
1230000 国内直販価格
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
~ 1ヶ月
※購入時期により納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
サンプルクリーニング 照射試験 イオンビームスパッタ 半導体露光装置用EUVミラーの微小領域精密除去加工に使われたイオン銃の技術をこの製品にフィードバックしています。
企業情報
弊社の営業方針は次の３本柱より成り立ちます。 ・高度で独自性のある基礎研究のお手伝いを通じ、研究者の方々 の“夢”と“思い”の具現化に貢献する事。 ・弊社の得意中の得意でもある高性能電子銃、高性能イオン銃等を主体とする、高性能真空実験装置をお客様のニーズに沿った最適なものに仕上げ、供給及びメンテナンスを施し、研究開発に貢献する事。 ・これらの基礎技術を応用し、オメガトロンのオリジナル商品を開発し、広範囲な産業界及び研究開発業界に貢献する事。
