【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい
ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。 したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。 ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。 方式は横型式と縦型式と2種類があり、石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい。 詳しくはお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【特徴】 ○長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供 ○方式は横型式と縦型式と2種類 ○石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい 【仕様】 横型自動石英管洗浄装置（CVD短尺石英管専用） ○比較的短い石英管の洗浄に最適 ○本体：鉄製フレームにPVC張り ○洗浄層：Nonメタル、PVC ○搬送機：前・後・上・下動シーソータイプ ○石英管：回転機構付き ○操作盤：液晶タッチパネル ○電源：AC-100～120V 30A 縦型自動石英管洗浄装置（CVD短尺石英管専用） ○比較的短い石英管を縦にして石英管内外をジェット洗浄する装置 ○本体：鉄製フレームにPVC張り ○回転テーブル：往復回転 ○扉：内ドア、外ドア 2重扉 ○シャワーノズル →石英管内部及び外部洗浄用 →ブース天井及び外部洗浄用 →純水リンス及びN2ブローも同じノズル使用 ○小物洗浄槽：Nonメタル PVC ○PH計：但しオート切り替えドレンはオプション ○操作盤：液晶タッチパネル ○電源：AC-100～120V 20A ●詳しくはお問い合わせ下さい。
価格情報
お問い合わせください
納期
※お問い合わせください
用途／実績例
●詳しくはお問い合わせ下さい。
企業情報
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。