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面型大気圧プラズマ

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最終更新日:2013年07月25日

株式会社魁半導体
株式会社魁半導体
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世界初の面状に大気圧プラズマを生成する製品です。

面型大気圧プラズマは、世界初の面状に大気圧プラズマを生成する事が可能で、京都大学酒井先生が発明した技術を製品化しました。熱によるダメージほとんど無く、熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではないので、処理対象物へ電荷のダメージを与えません。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

    ボンディング装置その他半導体製造装置基板加工機
SKIp-CBL.jpg

面型大気圧プラズマ

SKIp-CBL.jpg
SKIp-CBL.jpg
  • 関連リンク - http://sakigakes.co.jp/plasma_CBL-300.html

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基本情報

【特長】 ○300mm四方への均一処理を実現 →面状にプラズマを生成するので、パッチ処理が可能 ○熱によるダメージが殆どなし →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能 ○コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではない →処理対象物へ電荷のダメージなし ○あらゆるガスをプラズマ化 ○オプション →R to R等の搬送機構、各種コーター ○デモ処理、装置のレンタルも可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

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用途/実績例

【用途】 ○表面改質:各種張り合わせ塗装の前処理 ○表面改質:ボンディング性能の向上 ○表面改質:ガラス、フィルム、樹脂の濡れ性向上 ○クリーニング:ガラス、フィルム、樹脂、セラミックス、無機材の洗浄、メッキの前処理、電子デバイス基板の洗浄など ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

企業情報

株式会社魁半導体

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魁半導体は2002年9月に京都工芸繊維大学発のベンチャー企業として設立。プラズマ技術を用いた表面改質装置や堆積装置の販売をおこなっている。2010年に発売した粉体プラズマ装置は高い技術力が評価され『関西フロントランナー大賞』『中小企業技術賞』を受賞する。 全国の大学・産総研・大手メーカー・R&D部門で多数導入実績有り。 実物(デモ機)に触れて頂いてからの販売を提案します。 また、レンタル・リースにより、お客様のご負担を軽減したご使用方法も提案致します。 半導体関連以外にも、色々な技術相談を承っております。 また、石英やパイレックスの加工・販売を小ロットから承っております。 半導体関連以外にも、色々な技術相談を承っております。 また、石英やパイレックスの加工・販売を小ロットから承っております。

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