従来の加工技術では“不可能”であったRのない四角穴を実現。小径・狭ピッチも可能に
0.5tパイレックスガラスに0.2mm角の貫通穴を複数加工し、ガラスをメッシュ状にしました。 本加工は量産向けに開発した加工技術で、数量への対応も可能です。 【特長】 ○0.1ｍｍ×0.1ｍｍの多数貫通穴加工 ・（例）3インチウェーハで150,000穴 ○高アスペクト比（1：8～10）において貫通穴形状の選択が可能 ・ストレート形状、テーパ形状に対応 ○チッポングレスを実現 ・Siとの陽極接合時のコンタクト性が向上 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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【オプション】 ●側壁面へのメタライズが可能 ・光の干渉・吸収を防止 ● キャビティー形状も可能 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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画像１ 従来の加工技術では“不可能”であったRのない四角穴を実現。小径・狭ピッチも可能。
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画像２ 従来の加工技術では“不可能”であったRのない四角穴を実現。小径・狭ピッチも可能。
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切る、削る、磨く、メタライズ、接合の5つの最先端技術をクロスさせた 複合加工技術（クロスエッジ 微細加工）により、品質／コスト／量産性を考え、 お客様のご要求に最もマッチしたものを提案して参ります。