Al、Al合金膜を腐食することなく絶縁膜を良好にエッチングします。 エッチング加工用とSi自然酸化膜除去用を取り揃えています。
本製品の特長は以下のとおりです。 ・ Al、Al合金を腐食しません。 ・ 良好な順テーパーを形成します。 ・ ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。 ・Pure Etch 160( AlダメージレスSiエッチング液)の前処理液としても使用可能です。 キーワード:ウェットエッチング、SiO2、SiN、TEOS、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜
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私達は農薬標準品、環境ホルモン関連物質標準品含め、三千種類に及ぶ標準品を取り揃え、全国の各種研究所・調査機関に提供しております。 また、試薬だけでなく、電子工業用薬品の研究開発に取り組み、近年ではユーザーとの共同開発体制を構築し、新機能の提案、性能評価を行い、電子産業の発展を支えています。