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最終更新日:2012年04月19日

株式会社スペクトラ・コープ
株式会社スペクトラ・コープ
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最小限の溶液で簡便に測定が可能!

超小型 液浸プローブは測定ヘッド交換式の超小型液浸プローブです。 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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超小型

超小型 液浸プローブ

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【特長】 ○付属される5種類の測定ヘッドを交換することで、光路長を2~40mmの  間で変更することができます。 ○また、プローブ外径はφ6mmと細く、わずかな隙間にも通すことが  できる為、最小限の溶液で簡便に測定を行うことができます。  ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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光測定を主に利用し、各種非破壊非接触測定及び半導体製造プロセス検査(膜厚測定、プラズマモニターなど)をおこなうデバイスをオンライン、オフライン両方に開発

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