メンテナンスが容易なATRプローブ!
ATRプローブは、3面反射サファイアプリズムを使用したATR (Attenuated Total Reflection:減衰全反射法)測定用のプローブです。 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○液浸させたプリズムと溶液との境界面で発生するエヴァネッセンス光を 利用して透過率・吸光度測定を行います。 ○ATRプローブはメンテナンスが容易で、通常のプローブでは測定 できない強い吸光度を持つ溶液を測定する場合に適しています。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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光測定を主に利用し、各種非破壊非接触測定及び半導体製造プロセス検査(膜厚測定、プラズマモニターなど)をおこなうデバイスをオンライン、オフライン両方に開発