THK　精密ステージ高応答XYステージ　EX

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最終更新日：2016年03月16日

ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました！

精密ステージ高応答XYステージ　EXは、クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。詳しくはお問い合わせください。

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基本情報

【特長】 ○シンプルなXY構造 →案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。 ○すぐれた応答性 →クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータとも固定する特殊な構造を採用しました。　これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を実現しました。 ○高剛性XYステージ →XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、　ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。 ○ガタのない連結機構 →X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。　トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。 ●詳しくはお問い合わせください。