卓ライカAPOズーム光学系で高画質・最適倍率でのモニタ検査が可能!
ウエハチップの目視モニタ検査機で最高級光学系画像を見ながらオペレーターが確実に欠陥チップを識別でき欠陥位置/カテゴリー分類/画像ファイルが確実に欠陥チップを識別でき欠陥位置/カテゴリー分類/画像ファイルが確実にできる目視検査システムです。 エキスパンダリングをステージでステップ移動させチップサイズに合った最適倍率でカラーモニター検査ができます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
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基本情報
【特長】 1. ライカAPOズーム光学系で高画質・最適倍率でのモニタ検査ができます。 2. 電動ステージ移動でワークを一面ステップ移動ができます。 3. カラー200万画素USBカメラで高分解モニタ検査ができます。 4. 欠陥のデータ管理をオペレーターが簡単にできます。 (座標登録・品種カテゴリー登録・画像ファイル) 5. システム構成がノートPCに検査機とゲームパッドをUSB接続で使用できます。 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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