最大60“までのパネルを明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボルバとオートフォーカスで合焦画像検査ができます。
最大60”までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。 延長鏡筒なので、手元で目視検査とモニタ検査ができます。 顕微鏡固定型なので延長鏡筒で目視検査・モニタ検査ができ、自動計測は ステージ移動量と合わせた自動計測ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○微分干渉顕微鏡で透過・反射検査 ○画像計測モニター130万画素、延長鏡筒での接眼目視検査ができます。 ○XYスケール値と画像測定を合わせて測定して計算値および画像をExcell型式で管理できます。 ○XY軸はリニアステージで1400mm×900mm/1μm駆動、Z軸は200mm電動制御できます。 ●「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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