50μm厚の超薄型ガラス基板を非接触にて搬送する 非接触搬送装置「50μm厚超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」
「５０μm厚 超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」の非接触吸引機構は非接触搬送装置は空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けております。 気体偏向器により、ノズルより噴出した高圧空気流は直角方向に変流され、直接超薄型ガラスに衝突し、極薄ガラスを破損することはありません。 従って圧力線図に示すように超薄型ガラスに高圧噴出空気による局所応力を与えることはありません（負圧になっている）。 このため薄いワーク、脆い超薄型ガラスも破損することはありません。 、
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基本情報
「５０μm厚 超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」の非接触吸引機構は、空気を噴出させることにより、超薄型ガラスを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 0.05mm厚 超薄型ガラス非接触搬送装置LNAS型」は、空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けております。 気体偏向器により、ノズルより噴出した高圧空気流は直角方向に変流され、直接超薄型ガラスに衝突し、極薄ガラスを破損することはありません。 従って超薄型ガラスに高圧噴出空気による局所応力を与えることはありません。 このため薄いワーク、脆いワークも破損することはありません。
価格情報
打ち合わせ
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
用途／実績例
超薄ガラス製造ライン、搬送ライン、検査ラインの搬送
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を用いたウエハ、液晶ガラス基板、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。