ナノテックのMEMS開発ツール製品情報です。
『MEMS開発ツール』では、標準片面マスクアライナーや、試料裏面観察アライナーの「マスクアライナー」、UVナノインプリンター・マイクロコンタクトプリンターの「インプリント」、スプレーコーター「コーター」、オンリーワンのローコストマスク作製機「簡易マスク作製機」など多数掲載しています。陽極接合用アライメント装置、赤外線観察アライメント装置、各種張合わせアライメント装置の「仮止め装置」、真空接合装置「陽極接合装置」、簡易マスク作製機「MM605」など多数掲載しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【掲載製品】 [マスクアライナー］ ○標準片面露光アライナー →φ4・6・8インチ ○BA series 試料裏面観察アライナー →φ4・6インチ ○BS series 両面同時露光アライナー →4面同時露光 3灯式同時アライナー ○ES20 各種カスタムアライナー ［インプリント］ ○lmpFlex UVナノインプリンター ○PA400ｓ マイクロコンタクトプリンター ［コーター］ ○DC series スプレーコーター ［仮止め装置］ ○MA・AMA series →陽極接合用アライメント装置 →赤外線観察アライメント装置 →各種張合わせアライメント装置 ［陽極接合装置］ ○APA01 真空接合装置 ［簡易マスク作製機］ ○MM605 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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