石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。 低ダメージ、高クリーン度を実現しました。
■石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄 薬液を半導体ウェーハに浸し、石英ガラスを通じて超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。 ■半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄 薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。 ■振動子冷却機能付き 振動子を気体(窒素等)で冷却することで周波数変動がなく安定した連続運転が可能です。また、冷却することで急激な温度変化がなく長寿命です。
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基本情報
■発振器 【型式】W-357-1MQG-SKC 【発振モード】単周波発振 【定格出力】12W 【公称発振周波数】1MHz 【電源入力】AC100V～240V 単相 50/60Hz 300VA 【外形寸法 WxDxHmm】180×250×100 （突起部は除く、ゴム足を含む） 【質 量】2.2kg ■振動体ノズル 【流量】指定なし 【全長】159mm 【チャック部寸法】φ24mm 【照射面積】24㎠ 【質量】600g
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
※お気軽にお問い合わせください
用途／実績例
■レジスト残渣除去 ■エッジング後、アッシング後のポリマー除去 ■Gate電極洗浄 ■CMP後の洗浄
カタログ（2）
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企業情報
私たち本多電子は、創業以来研究開発型企業として、常に新技術の開発に力を注いでまいりました。そして、21世紀を迎え、市場創造型企業として、長年培ってきた超音波の要素技術の数々を産学交流、異業種交流などを通じて社会の発展に役立てていきたいと考えております。 イルカは神様から授かった素晴らしい超音波の能力を持っております。 超音波に携わる企業として、まだまだイルカに学ばなければならないことがあります。私達は常に謙虚に技術の革新に努めるとともに、積極的に皆様へ幸福情報を発信していきたいと考えております。
