超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現！ストロークは30μmと60μmがございます。
ピエゾステージ PU超精密加工用タイプは、軸超精密加工への応用に最適です。 FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に 用いて精密金型加工が実現できます。 他のタイプと比較して、数倍大きな発生力をもつ積層型圧電素子を搭載しています。 ■防塵防滴の対策 密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切削屑などの侵入を防ぎます。 ■堅牢な本体 加工時の安定性を確保するため、本体材質に鋼材を採用。 ビビリ振動などで加工精度を損なうことのない堅牢構造となっています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○防塵・防滴対策 ○大発生力圧電素子 ○高剛性 【仕様】 ○XY軸高速駆動 PU2H60F-012U →ストローク：12/12nm →分解能：1nm →繰り返し精度：±1nm →共振周波数：3100Hz →本体サイズ：60×60×40mm ○XY軸精密位置決め PU2L90F-030U →ストローク：30/30nm →分解能：1nm →繰り返し精度：±1nm →共振周波数：890Hz →本体サイズ：90×90×37mm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途例】 ダイヤモンドバイト送り 微細切削、研削加工 高速工具制御 ワーク位置決め 精密金型加工 高荷重物の精密位置決め 詳しくはお問い合わせください。
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。