高速、高分解能で再現性に優れた位置決めを実現。ストロークは20/20/12μmから80/80/80μmまで取り揃えています。
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXYZ軸ステージです。 XYZ軸ステージはストロークが20/20/12μmから80/80/80μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 サンプルソフト（無償）も用意しています。 また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○高速、高精度位置決め ○使いやすいインターフェース ○単品からカスタム対応 【XYZ軸ステージ製品ラインアップ】 ○PS3H70-020UA ○PS3H150-050UA ○PS3L100-080UA ○PS3L60-080U ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格帯
納期
用途／実績例
【アプリケーション例】 ○HDDテスト ○半導体、液晶検査装置 ○干渉計機器 ○光ピックアップ検査、評価 ○共焦点顕微鏡 ○ナノメータポジショニング 詳しくはお問い合わせください。
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。